х випадках також і при дослідженні прозорих плівок, на зразку робиться сходинка (частина поверхні залишається без плівки). Сходинку можна отримати екранування частини поверхні при нанесенні плівки або витравлення канавки спеціальним реактивом, розчинюючим плівку, але не чинним на деталь [19]. p align="justify"> Товщина є основним параметром тонких плівок. Стандартні методи прямого вимірювання товщини полягають у визначенні різниці висот між кордонами плівка-підкладка і плівка-поверхню або плівка-плівка у разі багатошарових структур. Для цього різними способами (наприклад, розколювання, дряпання або травлення) отримують поперечний переріз плівковою структури і аналізують за допомогою мікроскопів його зображення [20]. p align="justify"> У даній роботі для дослідження поверхні використовувався контактний метод. Контактні електромеханічні прилади, призначені для вимірювань параметрів шорсткості поверхні, називають профілометри, а такі ж прилади для запису нерівностей поверхні - профілографами [21]. p align="justify"> Профілометри з'явилися в 2-й половині 30-х років XX століття одночасно з схожими приладами профілографами. Контактний профілометр має датчик, обладнаний алмазної голкою. Алмазна голка переміщається перпендикулярно перевіряється поверхні, а датчик генерує сигнали. Сигнали, отримані від датчика, проходять через електронний підсилювач, обробка декількох сигналів дозволяє по лучити усереднений параметр шорсткості поверхні - усереднений показник кількісно характеризує нерівності поверхні в розрахунку на певну довжину [22].
Існує два види профілометри: оптичні і механічні. Оптичний профілометр містить джерело білого кольору, що дозволяє візуалізувати поверхню, відновлювати тривимірний рельєф поверхні, проводити вимірювання товщини покриттів, шорсткості поверхні [23]. p align="justify"> Механічний профілометр проводить вимірювання нерівності поверхні за допомогою заточеною голки.
При контактному методі вимірювання нерівностей поверхні в якості щупа використовують гостро заточену голку, поступально переміщається по певній трасі відносно поверхні. Вісь голки розташовують по нормалі до поверхні. Опускаючись у западини, а потім, піднімаючись на виступи під час руху обмацує голівки по випробуваної поверхні, голка вагається щодо головки відповідно огинає профілем. Механічні коливання голки перетворюються, як правило, в електричні за допомогою електромеханічного перетворювача того чи іншого типу. Знятий з перетворювача корисний сигнал підсилюють, а потім вимірюють його параметри, що характеризують нерівності досліджуваної поверхні (профілометрірованіе), або записують параметри профілю поверхні в заздалегідь вибраних вертикальному і горизонтальному масштабах (профілографірованіе) [21]. p align="justify"> Вимірювання товщини покриття вироблялося за допомогою контактного профілометра, ступеня точності 1 по ГОСТ 19300-86, моделі 130, призначений для вимірювання профілю та параметрів шорст...
