ше 1 мкм. При іонної імплантації створюються дефекти структури, пов'язані з впливом іонів, так звані радіаційні дефекти, істотно погіршують характеристики одержуваних цим методом електричних структур. Типовою В«долазернойВ» технологією поліпшення якості інтегральної схеми після іонної імплантації був тривалий (близько декількох годин) отжиг підкладки в дифузійної печі, що все одно не дозволяло знищити ряд дефектів. Вплив короткого імпульсу лазера (тривалістю в кілька одиниць 10 -8 с) плавить тонкий поверхневий шар в десяті частки мікрометра і усуває більшість радіаційних дефектів. Інше важливе перевагу лазерного відпалу - процес може бути реалізований на повітрі, так як через малу тривалості імпульсу лазерного випромінювання є високим, як кажуть, В«еквівалентнийВ» вакуум.
Лазерна зварювання. За характером впливу випромінювання на тіла лазерне зварювання зазвичай розділяється на імпульсну і безперервну. За допомогою імпульсного впливу лазерного випромінювання можна здійснити точкове зварювання сполук різної геометричної конфігурації, а також шовную зварювання стикових з'єднань, одержувану при послідовному нанесенні зварних точок з перекриттям окремих зон опромінення при високій частоті проходження імпульсів випромінювання. Безперервна лазерне зварювання на практиці здійснюється тільки СО2-лазерами і, як правило, є шовного. p> Імпульсна лазерне зварювання. Для зварювання більшості матеріалів, включаючи тугоплавкі метали, потрібні щільності потоків випромінювання 1C 5 -10 6 Вт/см 2 , якщо тривалість імпульсу становить кілька мілісекунд. У ряді випадків при зварюванні необхідно виконати такі технологічні вимоги:
обмежити розмір зони термічного впливу;
обмежити винос розплаву із зони впливу випромінювання, щоб не знижувалася міцність з'єднання;
обмежити температурні градієнти в зоні зварювання, щоб знизити термічні напруги, призводять до утворення тріщин;
зробити мінімальним час контакту твердої і рідкої фаз, щоб уникнути утворення інтерметалічних прошарків і появи крихкості зони термічного впливу;
домогтися максимальної глибини проплавлення без видалення маси, щоб не знижувати міцності з'єднання; p> при необхідності створити захисну атмосферу або проводити зварювання у вакуумі для уникнення помітного окислення поверхні матеріалів.
При лазерної зварюванні тепло, введене при поглинанні енергії імпульсу випромінювання, передається від поверхні тіла в глиб матеріалу завдяки теплопровідності. Для кожного матеріалу і товщини, яку необхідно проплавити, існує оптимальний діапазон тривалостей імпульсу, в межах якого можна отримати зварне з'єднання без надмірного виносу матеріалу із зони нагрівання.
Однією з основних характеристик лазерного імпульсу при точковому зварюванні є його енергія. Вона впливає як на загальну кількість тепла, введеного в тіло, так і на деякі характеристики випромінювання, так я...
