дігрівали. Рівномірність розподілу температури попереднього підігріву за обсягом деталі - важливий фактор, що запобігає можливість утворення дефектів. Глибину проплавлення і ступінь перемішування розплавів покриття та основного металу регулюють, керуючи швидкістю переміщення променя. У деяких випадках для отримання плоскої відшліфованою поверхні використовується додаткова механічна доведення. У результаті з поверхні деталі, обробленої при дугового наплавленні в інертному середовищі вольфрамовим електродом, віддалявся 1,6 мм товщини матеріалу, а при обробці лазером - тільки 0,4 мм.
Стабілізація параметрів плівок . Одне з важливих завдань в технології нанесення плівок (для цілей мікроелектроніки) - Штучне В«старінняВ» за допомогою зміни їх структури. Експерименти показують, що вплив променем лазера дозволяє істотно прискорити цей процес в порівнянні з традиційним способом нагріву у вакуумних печах. Крім того, лазерна обробка плівок у 2-3 рази підвищує стабільність їх властивостей.
Рекристалізація плівок. Рекристалізація тонких кленок напівпровідників і металів на підкладках з інших матеріалів становить певний інтерес для плівкової технології, оскільки дозволяє отримувати монокристаллическую структуру плівок з аморфної. Аморфні шари напівпровідників утворюються при напиленні у вакуумі парів, наприклад, германію на непідігрітого безструктурні підкладки. Високі швидкості охолодження приводять до утворення аморфної структури.
Отримання металевих стекол. Останнім часом посилився інтерес до аморфним матеріалами. Матеріали ці мають ряд властивостей, що відрізняють їх від кристалічних матеріалів. Ці відмінності стосуються магнітних, електричних, механічних та корозійних властивостей. Так, у аморфних металів суттєво вище магнітна проникність, більш висока стійкість до корозії. В даний час в різних країнах розробляються методи отримання аморфних плівок швидким охолодженням тонкого шару розплаву або його крапель, витягуванням тонких ниток з розплаву і ін
Лазерне вплив як метод отримання на поверхні шару металевого скла досить заманливо. У металів, наприклад, швидко розплавляється тонкий шар, а відвід тепла від ванни розплаву в метал забезпечує високу швидкість охолодження, в ряді випадків недоступну іншим методам. Швидкості охолодження при лазерній обробці можуть перевершувати 10 6 град/с, що достатньо для формування на поверхні металевого скла, як називають поверхневий аморфний шар у металах.
Лазерний отжиг іонноімплантірованних шарів. Спалах публікацій у всьому світі викликало відкриття лазерного відпалу іонноімплантірованних шарів напівпровідникових матеріалів в СРСР в 1976 м. У технології мікроелектроніки одним з методів створення інтегральних схем є введення в тонкий поверхневий шар підкладки з напівпровідника іонів бору, миш'яку та інших елементів для отримання електричних структур типу р-n-переходів. Глибина іонного легування мала, зазвичай мен...
