ової моделі і підтримують технологію ActiveX.включает в себе наступні програми, які є клієнтами ОРС:
- GraphWorX32;
- TrendWorX32;
- AlarmWorX32.
За допомогою додатка GraphWorX32 розроблена мнемосхема печі для вирощування монокристалів германію (малюнок 2.5), призначена для візуалізації процесу та оперативного диспетчерського управління на верхньому рівні.
За допомогою програми TrendWorX32 виконано графічне представлення контрольованих параметрів і внутрішніх змінних розробленої АСУ ТП.отображает інформацію про аварійні та інші події, пов'язаних з процесом, у вікнах журналу подій та архіву подій. Є можливість перегляду зведень аварійних подій і дій персоналу, як в поточний момент часу, так і за минулий час.
Рисунок 2.5 - Мнемосхема печі для вирощування монокристалів германію
На екран виведені поточні значення технологічних параметрів: температура тигля, тиск у печі, швидкості обертання і переміщення тигля і затравки, сила струму,
Прикладне програмне забезпечення включає в себе екрани SCADA, прикладну логіку операторського інтерфейсу, а також настроювальну і конфігураційну інформацію.
Функції АРМ оператора печі включають:
відображення стану печі;
забезпечення можливості оператору на видачу команд на віддалений запуск і зупинку обладнання;
забезпечення можливості завдання режимів ручного та автоматичного керування алгоритмами ПІД-регулювання температури тигля;
2.8 Опис функціональної схеми процесу вирощування монокристалів германію
Функціональна схема автоматизації є основним технічним документом, що визначає функціональну структуру та обсяг автоматизації технологічного процесу вирощування.
На функціональній схемі (СФУ ІЦММ ДП - 220301.65 - 06856 - А2) зображений процес вирощування монокристалів германію з відповідними приладами та засобами автоматизації.
Для реалізації АСР температури тигля використані наступні технічні засоби: Пірометр ПД6 (поз. 1-1), контролер для можливості незалежного регулювання «Овен» ТРМ151 (поз. 1-2), блок ручного управління БРУ32 ( поз. 1-3, 1-4), міліамперметр М - 42301 (поз. 1-5), тиристорний підсилювач потужності У13Н (поз. 1-6), електронагрівачі карбідокремніевие (поз. 1-7, 1-9).
Принцип роботи АСР температури тигля полягає в наступному: Сигнал надходить з пірометра ПД6, оптичний блок якого спрямований в піч через скляну перегородку, на контролер «Овен» ТРМ151, який через інтерфейс RS - 485 з'єднаний з ЕОМ і мікропроцесорним контролером Simatic S7-300.
Далі за заданою програмою, МПК порівнює температуру тигля із заданою. Після порівняння температур (у разі їх неузгодженості) МПК через модуль аналогового виведення подає сигнал на тиристорний підсилювач потужності У13Н через блок ручного управління БРУ - 22. У схемі встановлений міліамперметр М - 42301, що показує струм виходу з аналогового виходу МПК. Тиристорний підсилювач потужності У13Н, підключений до трифазної ланцюга змінного струму, виробляє вихідний сигнал пропорційний вихідному сигналу з аналогового виходу МПК, впливаючи на електронагрівачі карбідокремніевие, вс...
