an>
Т під = 250 В° < span align = "justify"> З
U = 6кВ;
I н = 10-12 А;
I ем = 20-60 мА.
052 - Нанесення оптичного покриття TiO 2 .
Режими нанесення плівки:
ІЕ Р = 10 -3 Па;
Т ісп = 1640 В° С;
Т під = 250 В° < span align = "justify"> С;
U = 6кВ;
I н = 10-12 А; ем = 20-60 мА.
053 - Нанесення оптичного покриття CaF 2 .
Режими нанесення плівки:
ІЕ Р = 10 -3 Па;
Т ісп. = 1360 В° С;
Т під = 250 В° < span align = "justify"> З
U = 6кВ;
I н = 10-12 А;
I ем = 20-60 мА.
054 - Нанесення оптичного покриття TiO 2 .
Режими нанесення плівки:
ІЕ Р = 10 -3 Па;
Т ісп = 1640 В° < span align = "justify"> С;
Т під = 250 В° < span align = "justify"> С;
U = 6кВ;
I н = 10-12 А;