еред них займають технології, побудовані на використанні ефекту ерозії поверхні. p align="justify"> Потрапляючи в конденсована речовина, прискорена частка втрачає свою енергію в результаті зіткнень з атомами середовища. При цьому відбувається їх іонізація, збудження, зсув, освіта радіаційних дефектів, нагрів опромінюється речовини та інші ефекти. Структурно-фазові перетворення, викликані тепловим дією пучка, регламентуються балансом енергії, тобто інтенсивністю її введення в тверде тіло і її втрат з системи по всіх каналах дисипації (теплопровідність, фазові перетворення, випаровування і т.д.). p align="justify"> Під терміном В«ерозіяВ» тут розуміється явище руйнування поверхні твердого тіла в результаті видалення речовини у вигляді окремих атомів, молекул або їх сполук як в рідкому, так і в твердому станах. p align="justify"> В основі його лежать такі процеси:
радіаційно-стимульована і теплова десорбція атомів і молекул;
розпорошення атомів, розташованих на поверхні і поблизу неї;
блістерінг (відшарування речовини мішені в результаті утворення куполоподібних здуття в приповерхневому шарі при імплантації в них великих доз іонів слаборозчинних газів);
випаровування атомів з твердої фази (сублімація);
випаровування атомів з рідкої фази, отриманої в результаті плавлення мішені;
відкол мішені внаслідок її крихкого руйнування;
розбризкування речовини з рідкої фази і ін
Ключовим параметром для характеристики ефективності процесу видалення речовини з поверхні мішені під час опромінення є коефіцієнт ерозії (кількість віддалених атомів на одну падаючу частку) [25].
Магнетронниє розпилювальні системи (МРС) є дуже ефективним засобом осадження тонких плівок на твердотілі підкладки. Однак їм властивий суттєвий недолік - відносно мала продуктивність (для МРС на постійному струмі швидкість росту металевих плівок зазвичай становить 1 ... 10 нм/с). Ситуація істотно поліпшується, якщо з'являється можливість використовувати Рідкофазний мішень. Завдяки цьому вдається приблизно на 1 .. 2 порядку збільшити швидкість росту загрожених покриттів [26]. p align="justify"> Цей ефект пов'язаний з тим, що при температурах, що перевищують точку плавлення, додатково до розпорошення виникає інтенсивне випаровування атомів з поверхні мішені. Тому швидкість осадження покриттів також помітно збільшується. Крім цього, за рахунок того, що в рідкій фазі всі метали - немагнітні, з'являється можливість осаджувати плівки із заліза і нікелю. Ці обставини представляє великий інтерес для технологічних цілей. p align="justify"> Однак МРС з жідкометалліческім мішенями сьогодні ще не набули широкого промислового застосування. Одна з причин цього полягає в тому, що їх технологічні можливості вивчені поки недостатньо. Було б бажано мати засіб для п...
