рогнозування щільності потоку емітують з поверхні атомів в залежності від потужності, що вкладається в магнетронний розряд. p align="justify"> Дане прогнозування можна здійснити за допомогою розробленої моделі процесу емісії атомів з поверхні жидкометаллических мішеней магнетронних розпилювальних систем, в основі якої лежить уявлення про те, що їх потік складається з двох незалежних компонент, створюваних зіткнень розпиленням і випаровуванням. З її допомогою отримано дані про характеристики потоку атомів з поверхні і швидкості росту загрожених покриттів залежно від щільності потужності магнетронного розряду [25]. p align="justify"> Нижче наведені графіки залежності коефіцієнта ерозії поверхні мішені від потужності при напилення зразків за допомогою різних систем напилення при різних режимах. Дані графіки побудовані з використанням даних, отриманих в програмі для розрахунку швидкості осадження покриттів і визначення коефіцієнтів ерозії покриттів. br/>В
Малюнок 34 - Залежність коефіцієнта ерозії поверхні мішені від потужності при напиленні зразків з додатковою магнітною системою (відстань мішень-підкладка 15 см).
В
Малюнок 35 - Залежність коефіцієнта ерозії поверхні мішені від потужності при напиленні зразків без додаткової магнітної системи (відстань мішень-підкладка 15 см).
В
Малюнок 36 - Залежність коефіцієнта ерозії поверхні мішені від потужності при напиленні зразків без додаткової магнітної системи (відстань мішень-підкладка 13 см).
З графіків видно, що з появою випарної компоненти коефіцієнт ерозії поверхні мішені. Нелінійність спостерігається за рахунок розігрівання поверхні. Дану нелінійність можна спостерігати на всіх трьох графіках. За рахунок випаровування збільшується коефіцієнт ерозії приблизно на два порядки. br/>
Таблиця 5 - Порівняння розрахункових і експериментальних значень швидкості осадження покриттів
Pстаб., ВтРрасчет, ВтI, АU, В (I * 1.44), А (U * 1.2), вj, А/м2Dісп, атом/іонDрасп атом/іонDсумм атом/іонVdep теор, нм/ сVdep експер, нм/сНапиленіе з використанням додаткової магнітної системи (15 без додаткової магнітної системи (15 без додаткової магнітної системи (13
Для побудови залежності швидкості осадження покриттів з урахуванням різних складових процесу напилення також використовувалися дані, отримані в програмі для розрахунку швидкості осадження покриттів і розрахунку коефіцієнтів ерозії поверхні мішені. Дані представлені в таблиці 6. br/>
Таблиця 6-Вплив компонентів процесу на величину швидкості осадження покриттів при різних режимах
P стаб., ВтVdep випаровування, нм/сVdep розпорошення, нм/сp стаб., ВтVdep випаровування, нм/сVdep розпорошення, нм/сp стаб., ВтVdep випаровування, нм/сVdep розпорошення, нм/ сНапиленіе з використанням додаткової магнітної системи (15 см) Напилювання без додаткової магн...
