кові на основі металів і їх сполук. Використовуються в мікроелектроніці при виготовленні: резисторів і резистивних елементів. Плівки, що містять кремній, тантал, хром і ніхром володіють підвищеним значенням питомого поверхневого опору і низьким значенням температурного коефіцієнта. Наносять плівки на основу (підкладку) з ситалла, скла або іншому діелектрику, плівки і двоокису олова. Як наносять - шляхом термічного розкладання хлористого олова. Як наносять - шляхом термічного розкладання хлористого олова.
Термоелектронна емісія. Вторинна емісія. Всередині металу вільні електрони перебувають у безперервному тепловому русі, але з металу вони не вилітають, так як є якісь сили, що перешкоджають їх вильоту з металу.
Металева пластина - електрично нейтральна. Якщо електрони покинуть поверхню металу, то метал заряджається позитивно, а біля кордону розділу метал-вакуум, утворюється скупчення електронів. Між цими електронами і позитивними іонами (що знаходяться всередині металу) утворюється електричне поле. Для наступних електронів, які прагнуть залишити метал, поле буде гальмуючим, а для електронів покинули метал - пришвидшує і буде притягувати їх назад в метал. br/>В
Малюнок 3.4 - Різниця потенціалів на межі метал-вакуум
Щоб покинути метал електрон повинен зробити певну роботу з подолання сил зворотного тяжіння до металу. Ця робота носить назву роботи виходу. p align="justify"> Процес виходу електрона з металу в навколишнє середовище отримав назву електронної емісії.
Емісія можлива тільки тоді, коли кінетична енергія електрона (що знаходиться в металі) більше або дорівнює роботі виходу
В
де е - заряд електрона, Кл;
? - різниця потенціалів, В
Значення роботи виходу у різних металів різні:
цезій - 1,81 еВ
барій - 2-2,52 еВ
торій - 3,4 еВ
ртуть - 4,4 еВ
вольфрам - 4,52
Види емісії. Щоб електрони могли вийти з металу, необхідно повідомити їм з поза необхідну додаткову енергію, достатню для подолання протидіючих сил. Залежно від способу повідомлення додаткової енергії розрізняють види емісії:
термоелектронну - за рахунок нагріву катода;
фотоелектронну - за рахунок енергії світла;
електростатичну (автоелектронну), при якій сильне електричне поле у ​​поверхні катода створює сили, що сприяють виходу електронів з металу;
вторинну - результат бомбардування катода потоком первинних електронів та іонів.
Катодом називається тіло випромінюють електрони.
Особливості термоелектронної емісії. При кімнатній температурі число електронів, енергія яких перевищує роботу виходу, мізерно мала. Якщо нагріти катод до певної температури, то відбудеться емісія. Розглянемо залежність струму емісії від температури (формула Дешмана)
,
де S - площа поверхні катода, що випромінює електрони, см ВІ;
А - постійна для даного катода;
Т - абсолютна температура катода;
е - (2,72) підстава натурального логарифма
e ? - робота виходу, еВ
К - постійна Больцмана = 8,62 * 10 еВ/градус
В
Малюнок 3.5 - Емісія вольфрамового катода
Емісія починається лише при температурі 2200 В°, і при подальшому збільшенні Т В° росте дуже швидко.
У різних катодів різна робота виходу, а тому струм емісії починається при інших температурах більших або менших.
Параметри катодів. Типи катодів. Максимальна щільність струму емісії, ефективність, робоча температура, довговічність.
Ефективність - струм емісії на один ват потужності, витраченої на нагрів катода.
Н = Ie/Pнагрева [мА/Вт]
Чим нижче робоча Т В°, тим менше потужності необхідно для нагріву катода, тому необхідно зменшувати роботу виходу.
Довговічність - це час, протягом якого катод може безперервно працювати зберігаючи свої найважливіші параметри.
Типи катодів. У вольфрамов...
