ітної системи (15 см) Напилювання без додаткової магнітної системи (13
На малюнка 37 - 39 представлені графіки залежності швидкості осадження покриттів від питомої потужності, показана залежність з урахуванням різних компонент напилення, таких як: розпилення, випаровування.
В
Малюнок 37 - Залежність швидкості осадженні покриттів від питомої потужності для зразків, отриманих за допомогою магнетрона з жідкометалліческім мішенню з використанням додаткової магнітної системи (відстань мішень-підкладка 15 см).
В
Малюнок 38 - Залежність швидкості осадженні покриттів від питомої потужності для зразків, отриманих за допомогою магнетрона з жідкометалліческім мішенню без додаткової магнітної системи (відстань мішень-підкладка 15 см).
В
Малюнок 39 - Залежність швидкості осадженні покриттів від питомої потужності для зразків, отриманих за допомогою магнетрона з жідкометалліческім мішенню без додаткової магнітної системи (відстань мішень-підкладка 13 см).
Швидкості осадження залежать від механізмів, що відбуваються на поверхні мішені. Якщо є випарна компонента, то швидкості осадження покриттів значно збільшуються. З розрахунків видно, що дана складова присутня. p align="justify"> Швидкість осадження матеріалу істотно залежить від матеріалу тигля. На даний показник впливає ступінь чорноти тигля (відношення випромінювальної здатності будь-якого тіла до випромінювальної здатності абсолютно чорного тіла при тій же температурі). Чим менше ступінь чорноти того чи іншого матеріалу, тим вище швидкість росту осаждаемой плівки. Для всіх реально існуючих фізичних тіл ступінь чорноти менше 1 [27]. Наприклад, якщо взяти графітовий тигель (ступінь чорноти 0,9), то швидкості значно зменшаться, це пов'язано з тим, що тигель менше випускає тепла, тим самим більше енергії витрачається на видалення атомів мішені. p align="justify"> Висновок
У даній роботі розглядаємо способи отримання тонкоплівкових покриттів у вакуумі: термічне випаровування, магнетронне розпорошення, крім цього, було розглянуто випадок розпилення з рідкої фази (магнетронне розпорошення з теплоизолированной мішенню). Наведено недоліки і переваги даних систем. p align="justify"> Була досліджена продуктивність роботи магнетрона з жідкометалліческім миш енью. Змодельоване магнітне поле на поверхні мішені для даної конструкції за допомогою програми ELCAT. Вироблено порівняння теоретичного і експериментального значення горизонтальної складової індукції магнітного поля. Потім магнетрон був накреслений у програмі AutoCAD. p align="justify"> Провадилося напилення зразків з використанням наступних конструктивних особливостей - в експерименті використовувалася додаткова магнітна система. Також змінювалося відстань плівка-підкладка. Плівки осаджувалися на скляні підкладки в атмосфері аргону з використанням свинцевого катода. p align=...
