ф.-м.н., доцент
Завдання прийняв до виконання студент:
ГруппаФІОПодпісьДата4Б00Хайруллін Рустам Равильевич
РЕФЕРАТ
Випускна кваліфікаційна робота 96 с., 24 рис., 15 табл., ___ 27 _____ джерел, 0 дод.
Ключові слова: плівки Co, CVD, температура підкладки, температура випарника, мікронапруги, хімічний склад, морфологія поверхні, залишкова намагніченість, намагніченість насичення, коерцитивної сила, питомий електричний опір.
Об'єктом дослідження є (ються) плівки Co, нанесені на підкладки Si методом CVD.
Мета роботи - дослідження можливості отримання плівок Co методом CVD з дііміната кобальту Co (N acN ac) 2 із заданими магнітними і електричними властивостями.
У процесі дослідження проводилися експериментальні роботи з вивчення впливу умов CVD-осадження на структуру, електричні і магнітні властивості плівок Co.
У результаті дослідження встановлено, що плівки Co з високими магнітними і електричними характеристиками виходять при температурі випарника, рівний 130 оС, і при температурі підкладки, рівний 320-330 оС.
Ступінь впровадження: виконаний експеримент
Область застосування: створення на основі плівок Co високочутливих магнітних датчиків, здатних реєструвати слабкі магнітні поля рухомих об'єктів. Дані датчики можуть застосовуватися в технічних засобах охорони, обнаружитель металів, реєстраторах залізничного рухомого складу та автомобільного транспорту.
Економічна ефективність/значимість роботи: отримані результати будуть використані для дослідження впливу умов CVD-осадження на структуру та магнітні властивості плівок системи Co-Pt, які є перспективним матеріалом для створення пристроїв зберігання інформації з високою щільністю запису даних.
У майбутньому планується дослідження можливості отримання плівок системи Co-Pt методом CVD із заданими магнітними властивостями.
ABSTRACT
work 96 p., 24 fig., 15 tables, _27_references, 0 app .: Co films, CVD, substrate temperature, vaporization temperature, microstresses, chemical composition, surface morphology, residual magnetization, saturation magnetization , coercive force, electrical resistivity.objects of study are Co films deposited on Si substrates by CVD.aim of this research - to investigate the possibility of Co films deposition by CVD from cobalt diiminate Co (N acN ac) 2 with required magnetic and electrical properties.researches of the effects of CVD conditions on the structure, electrical and magnetic properties of Co films were carried out.a result it was found that Co films deposited at vaporization temperature 130 оС and substrate temperature 320-330 оС were characterized by high magnetic and electrical characteristics.degree of an introduction: the experiment was carried out.area of ??application: a creation of sensitive magnetic sensors based on Co films. These sensors are able to detect weak magnetic fields of moving objects and can be applied in technical means of protection as well as in detectors of metals, rolling stocks and road transports.efficiency/value of the work: the obtained results will be used for an investigation of the effects of CVD conditions on the structure and magnetic properties of Co-Pt films that are perspective materials for a creation of data storage devices with high density recording.the future it is planned an investigation the possibility of Co-Pt films deposition by CVD with required magnetic properties.
Визначення, позначення, скорочення, нормативні посилання
У даній роботі застосовано такі терміни з відповідними визначеннями:
коерцитивної сила: Величина зовнішнього магнітного поля, яку необхідно прикласти до попередньо намагнічених тілу, щоб повністю його розмагнітити.
залишкова намагніченість: Величина магнітного моменту одиниці об'єму, яку має матеріал при відсутності зовнішнього магнітного поля.
намагніченість насичення: Максимальна величина магнітного моменту одиниці об'єму, якою характеризується матеріал, що знаходиться в зовнішньому магнітному полі.
область когерентного розсіювання: Певна область матеріалу, рассеивающая падаюче випромінювання когерентно.
мікронапруги: Напруження, що виникають у поликристаллическом матеріалі між окремими кристаллитами або всередині них.
У даній роботі використані посилання на такі стандарти:
. ГОСТ 12.0.003-74 ССБТ. Небезпечні та шкідливі виробничі фактори. Класифікація.
. ГОСТ 12.1.005-88 ССБТ. Загальні сан...
