в кілька разів. Тому деякі слабкі лінії стають невидимими на тлі шумів. Зміна спектру випромінювання розряду при переході з тліючого в високовольтну форму показано на рис. 7. p>
Розшифровка спектрів здійснювалась з використанням бази даних спектральних ліній [17]. У підсумку точно вдалося встановити тільки три лінії, що потрапили на один графік і характерні тільки для гелію (4922A, 5016A, 5048A) рис 11, 12, 13. Частота і співвідношення між амплітудами для цих ліній добре узгоджуються з літературними даними. p> Схоже, що гелію також належить лінія з довжиною хвилі ~ 3900A. Вона в літературі вказана як найяскравіша в цій області. Але її частота на 20А відрізняється від табличного значення. Це, можливо, пов'язано з помилкою допущеною при визначенні кута нахилу дифракційної решітки. Крім того, на довжині хвилі ~ 3900A розташовано багато менш інтенсивних ліній азоту і кисню, а також заліза. Ці речовини повинні бути присутніми в робочому газі у вигляді домішок. p> 4. Висновки
1. Розроблено експериментальну установку для отримання спектрів газового розряду з порожнистим катодом, з можливістю безперервно змінювати відношення довжини катода до його діаметру в діапазоні 0-5 разів. Отримано перші результати. p> 2. Встановлено, що в режимі тліючого розряду з порожнистим катодом інтенсивність яскравих спектральних ліній (5016A, 3889A) слабко залежить від довжини порожнини. При цьому деякі слабкі лінії (3790A, 3750A) слабшають майже вдвічі, якщо довжину катода зменшити на 25% від максимального значення (11,5 см). p> 5. Подяки
Висловлюємо подяку А. А. Дорошкіну за допомогу у проведенні експерименту. h2> Список літератури
[1] Заметіль А.С. Розширення робочого діапазону тисків тліючого розряду з порожнистим катодом. -ЖТФ, 1984, т.54, № 2, с. 241-247. p> [2] В.І. Кириченко та ін Вплив геометричних розмірів, матеріалу катода і роду газу на область оптимальних тисків тліючого розряду з циліндричним порожнистим катодом. -ЖТФ, 1976, т.46 № 9. p> [3] С.П. Нікулін. Вплив розмірів анода на характеристики тліючого розряду з порожнистим катодом. -ЖТФ, 1997, т.67, № 5. p> [4] С.П. Нікулін. Тліючий розряд з порожнистим катодом в довгих трубках. -ЖТФ, 1999, т.69, № 6.
[5] В.Г. Гречаний, А.С. Хуртовина. Вплив граничних умов на характеристики тліючого розряду з порожнистим катодом. -ЖТФ, 1982, т.52, № 3. p> [6] А.С. Хуртовина. Вплив іонізації в катодному шарі на характеристики тліючого розряду з осцилюючими електронами. -ЖТФ, 1985, т.55, № 10. p> [7] Б.І. Москальов. Страти в плазмі полого катода. - ЖТФ, 1965, т.XXXV, № 8. p> [8] Б.І. Москальов. Розряд з порожнистим катодом. "Енергія", М. (1969). p> [9] В.С. Бородін і Ю.М. Каган. Дослідження розряду в підлогою катоді. -ЖТФ, 1966, т.XXXVI, № 1.
[10] K. Ishii, K. Amato and H. Hamakake. "Hollow cathode sputtering cluster source for low energy deposition: Deposition of Fe small clusters. "J. Vac. Science and Technol....
