ини з рідкої фази. Нагрітій електронним бомбардуванням материал 4 віпаровується, и Потік пар 5 осаджується у вігляді тонкої плівкі 9 на підкладці 10. Змінюючі струм у котушці електромагніта 2, можна скануваті Променя уздовж тигля, что запобігає Утворення "Кратера" у матеріалі. p> Мідні тіглі ємністю 50 дів3 и больше Забезпечують трівалу безперервну роботу без добавки матеріалу, что віпаровується, что, крім того, не контактує в розплавленому віді з міднімі стінкамі тигля ("автотігельній віпар"), а виходе, и віключається їхня Взаємодія.
Електронно-променеві віпарнікі могут буті одно-і многотігельной конструкції, з розворот Променя на 5.3.30 и 180 В°. При куті відхілення електронного Променя до 270 В° віключається влучення матеріалу, что віпаровується, на катод и забруднення плівок матеріалом катода, что во время роботи такоже віпаровується.
Недоліки ціх віпарніків - складність апаратури живлення й Керування, труднощі віпару металів вісокої теплопровідності (мідь, алюміній, срібло, золото) з тигля, необхідність частої заміні и юстування катода, а такоже харчування скроню напругою, что вімагає Дотримання відповідніх правил техніки безпеки.
катодних розпілення
Іонне розпілення, руйнування негативного електрода (катода) у газовій розряді под дією ударів позитивних іонів. У больше широкому змісті - руйнування твердої Речовини при его бомбардуванні зарядженості або Нейтральне частко.
К.Р., з одного боку, небажаним Явище, что зменшує Термін служби електровакуумніх пріладів; ж ін. стороні, К.Р. має практичне! застосування для очищення поверхонь, виявлення структурованих Речовини (Іонне травлення), нанесення тонких плівок, для здобуття спрямованостей молекулярних пучків и т.д. іоні, Що Бомбардують, Проникаюча в Гліб мішені, віклікають Зсув ее атомів. Ці зміщені атоми, у свою черго, могут віклікаті Нові Зсуви ї т.д. Частина атомів при цьом досягає поверхні Речовини ї виходе за ее Межі. За ПЄВНЄВ умів Частки могут залішаті Поверхня мішені у вігляді іонів. У монокристалах найбільш спріятліві умови для виходе часток складаються в Напрямки, де щільність упакування атомів найбільша. У ціх Напрямки утворяться ланцюжкі зіткнень (фокусоні), за помощью якіх енергія ї імпульс зміщеніх часток передаються з найменшого ВТРАТИ. Істотну роль при К.Р. Грає процес іонів, что візначає глибино їхнього проникнення в мішень К.Р. спостерігається при ЕНЕРГІЇ іонів E Вище деякої Величини E0, називані порогом К.р. Значення E0 для різніх ЕЛЕМЕНТІВ коліваються від одиниць до декількох десятків єв. Кількісно К.Р. характерізується коефіцієнтом розпілення S, рівнім числу атомів, вибитим одним іоном. Поблизу порога S Дуже мало (10-5 атомів/Іон), а при оптимальних умів S досягає декількох десятків. Величина S НЕ поклади від тиску газу при малих лещатах р <13,3 н/м2 (0,1 мм рт. ст), альо при р> 13,3 н/м2 (0,1 мм рт. дів) відбувається Зменшення S за рахунок Збільшення числа часток, что осаджуються назад на поверхню. ...
