на значні перспективи використання цих матеріалів у ряді технічних напрямів. Насамперед, це електроніка. Вони вже зараз використовуються при створенні плівок для літографії. Створене з їх допомогою нове покоління фоторезистов, призводить до зменшення лінійних розмірів до 0.2 мікрометрів і використання одного і того ж резіста для ультрафіолетового, рентгенівського та електронно-променевого процесів літографії. Фотолітографія із застосуванням фулеренів проводиться в Санкт-Петербурзі в ЗАТ "Авангард-Еліоніка". Одним з цікавих прикладів можливого практичного застосування наноструктурних матеріалів є високоміцні різьбові вироби, широко використовувані в авіа-і автомобілебудуванні. Елементи різьби є концентратами напруг, які зазвичай лімітують властивості виробів. p align="justify"> В інституті фізики напівпровідників РАН йде розробка нових технологій нанолітографії і безмасочного виготовлення наноприладів та атомно-розмірних об'єктів, там же проводяться теоретичні та експериментальні дослідження багатошарових наноструктур для створення елементів мікро-і фотоелектроніки.
Розглядаються ідеї створення елементів пам'яті на основі нанотрубок. В інституті мікроелектроніки (Імран) ведуться роботи зі створення пам'яті на самоорганізованих вуглецевих наноструктурах. p align="justify"> Одним з перспективних напрямів у розвитку як наноелектроніки, так і нанопріборостроенія є дослідження і створення тунельного датчика. Подібні датчики обіцяють мати вельми невеликі розміри, крім того, до їх достоїнств відносяться унікально висока чутливість і широкий спектр застосувань. p align="justify"> РОЗДІЛ 2. Високовакуумні СЗМ SOLVER HV
.1 Призначення і методи вимірювань
високовакуумної скануючий зондовий мікроскоп Solver HV (далі Solver HV) призначено кількісних і якісних вимірі в умовах високого вакууму. Solver HV дозволяє з нанометровим дозволом проводити дослідження поверхневих характеристик і приповерхневих фізичних параметрів різних об'єктів, що допускають їх розміщення в вакуумі. p align="justify"> Залежно від обраної комплектації Solver HV дозволяє досліджувати зразки в різних умовах:
магнітне поле до I до Гаусс;
нагрів до 1500С;
охолодження до 50 К.
Наявність вільних фланців дозволяє встановлювати додаткове обладнання і використовувати СЗМ SolverHV для модифікації у високому вакуумі поверхневих наноструктур за допомогою іонного, електронного або плазмового джерел, спрямованих на досліджувану область об'екта.СЗМ Solver HV дозволяє проводити вимірювання з використанням наступних методів: Мікроскопія (Сканирующая Тунельна Мікроскопія (ВТМ), Атомно-силова мікроскопія (АСМ) (контактна + напівконтактному + безконтактна), Латерально-силової мікроскопії (ЛСМ), Метод Відображення Фази, Метод Модуляції Сили, Відображення Адгезійний Сил, Магніт...
