но-силової мікроскопії (ЧСЧ), Електростатична Силова Мікроскопія (ЕСМ), Сканирующая Ємкісна Мікроскопія (СЕМ) (безконтактна), Метод Зонда Кельвіна (МЗК), Відображення опору розтікання (ВСР). Спектроскопія АСМ (силова, амплітудна, фазова), СТМ (I (z ), I (V)), Відображення Роботи Виходу (ОРВ), Відображення Локальної Густині Станів (ОЛПС). Літографія АСМ (Силові (наногравіровка і наночеканка) і Струмові (постійні та змінні)), ВТМ. Наноманіпуляція (Контактні, Силові).
2.2 Технічні характеристики
Таблиця 2
ПараметрЗначеніеРазмер образцадо 10х10 ммПозіціонірованіе зразка: Діапазон переміщення Точність перемещенія3х3 mm крокових двигунів у вакуумі 5x5 mm вручну в повітрі - додатково 5 мкмДіапазон сканірованія50х50х2, 5 мкм (В± 10%) Спосіб сканірованіяСканірованіе зондомМінімальний крок сканірованія0, 006 нмВакуумная система : Залишковий тиск Час откачкі10-6 торр 30 хв до 10-5 торрСістема термостатування: Діапазон робочих температур: нагрівання охолодження Час встановлення температури 110 К Точність підтримки температуридо 1500С до 110 К (азотне) до 50 К (гелиевое) 30 хв В± 0,10 СМагнітное полі В± 0,1 ТСЗМ контролер: Напруга живлення Споживана потужність Вес90-240 В, 50-60 Гц 80 Вт 16 кгСістема відеоспостереження: CCD камера Монітор Дозвіл Числова апертура Збільшення з CCD камерою Поле зору: 1/2 , кольорова 14 , кольоровий 5 мкм 0,1 від 47x до 578x від 2 до 0,49 ммСістема віброізоляції Віброізолюючий стіл: Активне демпфірування Пасивне демпфірування Максимальне навантаження Розмір віброізолюючиєю стільниці демпфуючим система в робочої камере0, 6 - 100 Гц> 100 Гц 300 кг 600х600 мм резонансна частота 1 Гц
2.3 Пристрій СЗМ Solver HV
Основні вузли СЗМ Solver HV представлені на малюнку 2.
В
Рисунок 2 - Основні вузли СЗМ Solver HV 1 - вакуумна камера: 2 - шафа електроніки; 3 - турбомолекулярний насос, 4 - віброізолюючий стіл, 5 - Відеомікроскопи: 6 - форвакуумний насос; 7 - система охолодження
Вакуумна камера 1 (Мал. 2) встановлена ​​на віброізолюючий столі. Відкачування повітря з камери проводиться форвакуумним 6 і Турбомолекулярний 3 насосами. Контроль тиску в камері здійснюється форвакуумним і високовакуумної вакуумметрамі.На Рис. 3 представлена ​​блок-схема Solver HV. У камері на внутрішній демпфирующей системі підвішена вимірювальна головка 2. Вимірювальна головка через перехідні вакуумні роз'єми підключена до СЗМ контролеру 5, який у свою чергу підключений до керуючого комп'ютера. br/>В
Рисунок 3 - Блок-схема Solver HV: 1 - вакуумна камера, 2 - вимірювальна головка, 3 - турбомолекулярний, 4 - форвакуумним насос, 5 - СЗМ контролер, 6 - комп'ютер, 7 - віброізолюючий стіл
2.4 Основні функці...
