Теми рефератів
> Реферати > Курсові роботи > Звіти з практики > Курсові проекти > Питання та відповіді > Ессе > Доклади > Учбові матеріали > Контрольні роботи > Методички > Лекції > Твори > Підручники > Статті Контакти
Реферати, твори, дипломи, практика » Новые рефераты » Іонні насоси в технології MEMS

Реферат Іонні насоси в технології MEMS





ign="justify"> Відразу ж впадають в очі наступні факти:


1. Якщо S H = U, то отримуємо що S Eff = 0.5S H ;

2. Якщо U , то S Eff S H ;

. При U 0, маємо S Eff 0.


Граничний тиск насоса p пр - це мінімальне тиск, який може забезпечити насос, працюючи без відкачуваного об'єкта. Логічно зауважити, що швидкість дії насоса при наближенні до граничного тиску прагнути до нуля. Граничний тиск більшості вакуумних насосів визначається газовиділенням матеріалів, з яких виготовлений насос, перетіканням газів через зазори і іншими явищами, що виникають в процесі відкачування.

Найменша робочий тиск вакуумного насоса p м - це мінімальний тиск, при якому тиск тривалий час зберігає номінальну швидкість дії. Найменша робочий тиск приблизно не порядок вище граничного тиску. Використання насоса для роботи при тисках між граничним і найменшим робочим економічно не вигідно через погіршення його питомих характеристик.

Найбільше робочий тиск вакуумного насоса p б - це максимальний тиск, при якому насос тривалий час зберігає номінальну швидкість дії. У робочому діапазоні від найменшого про найбільшого робочого тиску забезпечується ефективне застосування насоса для відкачування вакуумних установок. Робочі діапазони тисків вакуумних насосів в основному визначаються їх принципом дії.

Тиск запуску вакуумного насоса p з - максимальний тиск у вхідному перетині насоса, при якому він може почати роботу. Тиск запуску зазвичай помітно перевищує найбільшу робочий тиск. Для деяких типів насосів, наприклад, магніторазрядних, це розходження може досягати 2-3 порядків.

Найбільше випускний тиск p В - максимальний тиск у вихідному перетині насоси, при якому він може здійснювати відкачку. Цей параметр не використовується для деяких типів сорбційних насосів, поглинаючих газ в об'еменасоса.


Іонні насоси


Іонний насос являє собою камеру, приєднувану безпосер...


Назад | сторінка 3 з 14 | Наступна сторінка





Схожі реферати:

  • Реферат на тему: Противикидне обладнання, розраховане на робочий тиск 35 МПа
  • Реферат на тему: Гідростатичний тиск
  • Реферат на тему: Атмосферний тиск
  • Реферат на тему: Атмосферний тиск і здоров'я
  • Реферат на тему: Тиск крови у кровоносна судина. Методи вимірювання