едньо до відкачуваного обсягом. Електрони, що випускаються катодом прямого напруження або виникають у статичному розряді, іонізуют молекули газу в зіткненнях з ними. Іони переносяться електричним полем до колектора і зв'язуються на його поверхні. Існують два механізми зв'язування: одні іони адсорбуються на поверхні колектора, а інші вступають в хімічну реакцію з матеріалом колектора, утворюючи стійкі з'єднання. Для хімічно активних газів ефективні обидва механізму, а для інертних - тільки перший. Колекторні поверхні більшості іонних насосів покриті титаном. Під дією іонів, що бомбардують колектор, його поверхню розпорошується, так що безперервно відкриваються свіжі шари титану, здатні зв'язувати іони хімічно активних газів. p align="justify"> Дія іонних насосів засноване на іонізації газу сильним електричним розрядом і видаленні іонізованних молекул електричним полем. Цей спосіб мало поширений через складність пристрою і великий споживаної потужності, що витрачається головним чином на створення магнітного поля. При кімнатній температурі інертні гази і вуглеводні практично не поглинаються напиленими плівками металів. Для їх видалення служать комбіновані іонно-сорбційні або іонно-гетерні насоси, в яких сорбційний спосіб поглинання хімічно активних газів поєднується з іонним способом відкачування інертних газів і вуглеводнів. Поглинаюча поверхня оновлюється осадженням на стінках термічно испаряемого титану, а також катодним розпиленням титану в електричному розряді або в магнітному полі в електророзрядних або магніторазрядних іонно-сорбційних насосах. Іонно-сорбційні вакуумні насоси при попередній відкачці до 10-2 н/м2 (до 10-4 мм.рт.ст.) створюють вакуум до 10-5 н/м2 (10-7 мм.рт.ст.). Швидкість відкачки залежить від роду газу. Оскільки в таких насосах немає робочої рідини, вони вносять набагато менше забруднень, ніж найкращі дифузійні. До недоліків ж їх можна віднести те, що хімічно активні гази вони відкачують набагато швидше інертних і віддають назад невелику частину відкачаного газу. p align="justify"> Прототипом іонних насосів є вакуумний манометр Пеннінга, в якому при вимірюваннях тиску відбувається помітне відкачування газів. Це явище викликане, з одного боку, ефективної іонізацією газу завдяки присутності магнітного поля (збільшує шлях іонізації електронів), а з іншого, розпиленням металу катода під впливом бомбардування його іонами. p align="justify"> Для відкачування хімічно неактивних газів, особливо інертних, їх часткам повідомляють великі швидкості; такі частинки при зіткненні з поверхнею металу впроваджуються в нього, а потім В«замуровуютьсяВ» шарами напиляного або обложеного з парів металу. Прискорення частинок газу здійснюється за допомогою електричного поля після попередньої їх іонізації. Іони ж хімічно активних газів вступають в реакцію з металом катода. p align="justify"> Іонні насоси підрозділяють на насоси з гарячим катодом (термокатодние) і насоси з холодним катодом (електророзрядні).
