івки. Спочатку з робочої зони відкачують повітря, потім в камеру напускають робочий газ (аргон або азот). Між катодом і анодом прикладається напруга (3-5 кВ), яке викликає пробій газового проміжку. Робота установки заснована поблизу плазмового розряду. p align="justify"> Види катодного напилення:
. фізична: ніяких хімічних реакції в системі не відбувається;
. реактивне: передбачає хімічну реакцію, в робочий газ додають реактивний газ (кисень, азот, окис вуглецю), з молекулами якого розпилюється речовина утворює хімічну сполуку. Змінюючи парціальний тиск робочого газу, можна змінювати склад плівки.
Варто відзначити, що вакуумне отримання тонкоплівкових структур, володіючи широкими можливостями і універсальністю. Має ряд істотних недоліків - вимагає складної дорогої апаратури, а також не забезпечує однорідність властивостей. p align="justify"> Найбільш привабливий з методів отримання плівок сульфідів по своїй простоті й ефективності є технологія гідрохімічного осадження. В даний час існує три основних різновиди цього методу: хімічне осадження з розчинів, електрохімічне осадження і розпорошення розчинів на нагріту підкладку з наступним піролізом. p align="justify"> При електрохімічному осадженні проводять анодне розчинення металу у водному розчині тіомочевіни. Процес утворення сульфіду йде в дві стадії:
освіту на аноді іонів металу;
взаємодія іонів металів з халькогенізатором.
Попри переваги методу: контрольованість і чітка залежність швидкості росту плівки від сили струму, метод не є достатньо економічним, утворюються тонкі нерівномірні за властивостями і аморфні плівки, що перешкоджає широкому застосуванню даного методу на практиці.
Метод розпилення розчину на нагріту підкладку (піроліз)
Розчин містить сіль металу і тіомочевину розпилюють на нагріту до 180 .. 250? З підкладку. Основною перевагою методу піролізу є можливість отримання плівок змішаного складу. Апаратурнеоформлення включає пристрій пульверизації для розчинів і нагрівач для підкладки. Для отримання плівок сульфідом металів оптимально стехиометрическое ставлення метал-сера. p align="justify"> Особливу привабливість і широкі перспективи, з точки зору кінцевих результатів, має хімічне осадження з водних розчинів. Гідрохімічний метод осадження відрізняється високою продуктивністю і економічністю, простотою технологічного оформлення, можливістю нанесення плівок на поверхню складної форми і різної природи, а також легування шару органічними іонами або молекулами, що не допускають високотемпературний нагрів, і можливістю В«мягкохіміческогоВ» синтезу. Останнє дозволяє розглядати даний метод, як найбільш перспективний для отримання метастабільних за своєю природою сполук халькогенідів металів складної структури. p al...
