Теми рефератів
> Реферати > Курсові роботи > Звіти з практики > Курсові проекти > Питання та відповіді > Ессе > Доклади > Учбові матеріали > Контрольні роботи > Методички > Лекції > Твори > Підручники > Статті Контакти
Реферати, твори, дипломи, практика » Курсовые обзорные » Технологічний процес складання та регулювання іонного джерела очищення

Реферат Технологічний процес складання та регулювання іонного джерела очищення





отенціалу разом з рухом електронів по спіральній траєкторії відображені на малюнках 2 і 3. Іони входять в зону замкнутого дрейфу з боку анода, де і прискорюються, формуючи іонний пучок (зліва направо на малюнку 3). p align="justify"> Осьове зміна сили радіального магнітного поля (мал.2а) має дзвіноподібний розподіл, досягаючи максимуму біля полюсів магнітного контуру і знижуючись близько анода і вихідного кінця джерела. У результуючому розподілі потенціалу (рис.2б) максимум зміни потенціалу лежить в області, де сила магнітного поля також максимальна. br/>В 

Рис. 3. Азимутальний дрейф електронів. br/>

Азимутальний дрейф електронів зображений на малюнку 3. Цей дрейф спрямований по нормалі до прикладеним як електричному E z так і магнітному B r полям (напрям ЕХВ), отже, він і становить струм Холла. Осьова щільність електронів в кожний поточний момент часу є результат зіткнень електронів з іншими електронами, іонами, нейтральними атомами газу, стінками каналу і коливаннями потенціалу плазми. Внаслідок зниженої мобільності електронів по нормалі до магнітного поля плазма здатна протистояти істотною силі електричного поля, допускаючи витік невеликого числа електронів з області замкнутого дрейфу. При дотриманні цієї умови електричне поле передає енергію в основному іонам, збільшуючи їх кінетичну енергію.

Якщо дрейф електронів утруднений, буде генеруватися вторинне електричне поле. Це вторинне поле в кінцевому підсумку виллється в компоненту дрейфу електронів, спрямовану паралельно прикладеному електричному полю між анодом і катодом, і, як наслідок, в підвищену електронну провідність. Для досягнення високого ККД джерела із замкнутим дрейфом електронів необхідно забезпечити дрейфовий рух електронів без сутичок, тобто по замкнутому шляху. Додачу до того, що дрейфовий шлях повинен бути замкнутим, необхідно забезпечити високий ступінь однорідності як щільності плазми, так і сили магнітного поля. Необхідна однорідність зазвичай досягається шляхом використання осесиметричною (круглої), конфігурації джерела, однак можливе використання і протяжної овальної форми (так званий протяжний гоночний трек). p align="justify"> Електрони замкнені всередині зони замкнутого дрейфу, в якій, в основному, і існує ускоряющее полі. Вони залишають цю зону досить рідко, для того, щоб ці втрати повністю заміщувалися електронами, емітованими катодом, і вторинними електронами, отриманими при іонізації нейтральних атомів робочого газу. Умоваквазінейтральності


, (2.2)


де ne - концентрація електронів; ni - концентрація іонів.

дотримується в області замкнутого дрейфу, як, втім, і в області іонного пучка за межами джерела.

Потужність розряду при постійній потужності джерела залежить від значень тиску (р) і магнітної індукції (В). Експерименти...


Назад | сторінка 3 з 19 | Наступна сторінка





Схожі реферати:

  • Реферат на тему: Рух електрона в однорідних полях. Аналіз енергії електронів методом гальму ...
  • Реферат на тему: Руху електронів у вакуумі в електричному і магнітному полях
  • Реферат на тему: ЕМІСІЯ електронів. Електричний струм в газах
  • Реферат на тему: Квантовий розмірний ефект для електронів і фононів
  • Реферат на тему: Визначення вологості в процентному співвідношенні досліджуваного харчової с ...