икористовуючи додаткову магнітну систему. Товщина 6,88 мкм. br/>В
Малюнок А3-Профіль поверхні зразка № 3, отриманого за допомогою магнетрона з жідкометалліческім мішенню, використовуючи додаткову магнітну систему. Товщина 7,7 мкм. br/>В
Малюнок А4-Профіль поверхні зразка № 4, отриманого за допомогою магнетрона з жідкометалліческім мішенню, використовуючи додаткову магнітну систему. Товщина 10,9 мкм. <В
Малюнок А5-Профіль поверхні зразка № 5, отриманого за допомогою магнетрона з жідкометалліческім мішенню, використовуючи додаткову магнітну систему. Товщина 20,2 мкм. br/>В
Малюнок А6-Профіль поверхні зразка № 6, отриманого за допомогою магнетрона з жідкометалліческім мішенню, використовуючи додаткову магнітну систему. Товщина 31 мкм. br/>В
Малюнок А7-Профіль поверхні зразка № 7, отриманого за допомогою магнетрона з жідкометалліческім мішенню, використовуючи додаткову магнітну систему. Товщина 14,9 мкм. br/>В
Малюнок А8-Профіль поверхні зразка № 8, отриманого за допомогою магнетрона з жідкометалліческім мішенню, використовуючи додаткову магнітну систему. Товщина 15 мкм. br/>В
Малюнок А9-Профіль поверхні зразка № 9, отриманого за допомогою магнетрона з жідкометалліческім мішенню, без додаткової магнітної системи (відстань мішень підкладка 15см. Товщина 8,5 мкм.
В
Малюнок А10-Профіль поверхні зразка № 10, отриманого за допомогою магнетрона з жідкометалліческім мішенню, без додаткової магнітної системи (відстань мішень підкладка 15см. Товщина 11 мкм.
В
Малюнок А 11-Профіль поверхні зразка № 11, отриманого за допомогою магнетрона з жідкометалліческім мішенню, без додаткової магнітної системи (відстань мішень підкладка 15см). Товщина 17,5 мкм. br/>В
Малюнок А12-Профіль поверхні зразка № 12, отриманого за допомогою магнетрона з жідкометалліческім мішенню, без додаткової магнітної системи (відстань мішень підкладка 15см). Товщина 21,6 мкм.
В
Малюнок А13-Профіль поверхні зразка № 13, отриманого за допомогою магнетрона з жідкометалліческім мішенню, без додаткової магнітної системи (відстань мішень підкладка 15см). Товщина 25,1 мкм.
В
Малюнок А14-Профіль поверхні зразка № 14, отриманого за допомогою магнетрона з жідкометалліческім мішенню, без додаткової магнітної системи (відстань мішень підкладка 15см). Товщина 21 мкм.
В
Малюнок А15-Профіль поверхні зразка № 15, отриманого за допомогою магнетрона з жідкометалліческім мішенню, без додаткової магнітної системи (відстань мішень підкладка 15см). Товщина 9,5 мкм.
В
Малюнок А16-Профіль поверхні зразка № 16, отриманого за допомогою магнетрона з жідкометалліческім мішенню, без додаткової магнітної системи (відстань мішень підкладка 15см). Товщина 12,9 мкм.
