ров, С.В. Работкін, К.В. ОСКОМА, Н.С. Сочугов Характеристики плазми незбалансованої магнетронній розпилювальної системи і їх вплив на параметри покриттів ZnO: Ga [Електронний ресурс]. - 2008. -Режим доступу: # "justify">. Кустов В.В. Особливості обробки підкладки незбалансованим магнетроном// Фізика і техніка плазми: Матеріали межд. науково-техн. конф. - Мінськ, 1994. - Частина II. - С. 397 - 399. [Електронний ресурс]. - Режим доступу: # "justify">. Б.С. Данілін, М.В. Какурін, В.Є. Мінайчев та ін Осадження металевих плівок шляхом розпилення з рідкої фази// Електронна техніка. Сер. Мікроелектроніка. -1978. тВип. 2 (74). -С.84-87. ELCUT [Електронний ресурс]. - Режим доступу: # "justify">. Основні відомості про пакет ELCUT [Електронний ресурс]. - Режим доступу: # "justify">. AutoCAD// Вікіпедія. [2011 - 2011]. Дата оновлень 10.03.2011. URL: # "justify">. Фінкельштейн Е. AutoCAD 2008 і AutoCAD LT 2008. Біблія користувача = AutoCAD 2008 and AutoCAD LT 2008 Bible. - М.: В«ДіалектикаВ», 2007. - С. 1344. p align="justify">. Азбука AutoCAD. Створення малюнків [Електронний ресурс]. - Режим доступу: # "justify">. Методи і засоби вимірювань і контролю: Навчальний посібник/В.С. Секацький, Н.В. Мерзлікіна. Красноярськ: ІСЦ СФУ, 2007. с. 206. p align="justify">. А.І Стогній, М.М. Новицький, О.М. Стукалов. Метод контролю нанорозмірною товщини біслойних плівкових наноструктур// Листи до ЖТФ. - 2003. - № 4. - С. 39 - 45. p align="justify">. Марков М.М. Взаємозамінність та технічні вимірювання в машинобудуванні. - М.: Енергоіздат, 1972. - 248 с. p align="justify">. Профілометр// Вікіпедія. [2010 - 2011]. Дата оновлень 11.05.2010. URL: # "justify">. Патент Росії № 2085840, Оптичний профілометр, І.Є. Кожеватов; Е.Х. Куликова; Н.П.Черагін, 27.07.1997г. p align="justify">. ВАТ В«Завод ПРОТОН-МІЕТВ» Паспорт 130.0.01-ПС Сертифікат про затвердження типу засобів вимірювань РФRU.C.27.004.A № 26057 від 15.12.2006г., Термін до 01.01.2012р. № 33319-06 в Державному реєстрі засобів вимірювань РФ. - Москва 2007. p align="justify">. Г.А. Блейхер, В.П. Кривобоков, Р.С. Третьяков, А.В. Юр'єва. Теплові та ерозійні процеси при роботі магнетронних розпилювальних систем з неохолоджуваними мішенями// Изв. вузов.Фізіка. - 2009. - 11/2.- С. 180 -185.
. Данілін Б.С., Какурін М.В., Мінайчев В.Є., Одиноков В.В., Сирчін В.К. // Електронна техніка. Сер. Мікроелектроніка. - 1978. - В. 2 (24). - С. 84-87. p align="justify">. Ступінь чорноти [Електронний ресурс]. - Режим доступу: # "justify"> тонкоплівковий вакуум магнетрон рідиннофазної
Додаток
В
Малюнок А1-Профіль поверхні зразка № 1, отриманого за допомогою магнетрона з жідкометалліческім мішенню, використовуючи додаткову магнітну систему. Товщина 3,36 мкм. br/>В
Малюнок А2-Профіль поверхні зразка № 2, отриманого за допомогою магнетрона з жідкометалліческім мішенню, в...
