електронної мікроскопії та мікроелектронографіі, препарати для якої готувалися утонением іонним бомбардуванням тонких фольг, вирізаних з обсягу кераміки.
Дані за структурою кераміки наведені в табл.1, опис структури - в табл.2.
Таблиця 1. Фазовий склад кераміки Si 6-x Al x N 8-x O x
Кількість Al2O3, мовляв.%
Кількість
ОІ '- сіалона
Ступінь
заміщення, х
Розмір зерна кераміки, мкм
Пѓізг, МПа
10
-
0
1
240
20
3-5
1
1
124
40
60-65
2
3
101
60
90-95
3
10
42
Таблиця 2. Структура кераміки в системі Si 3 N 4 - Al 2 O 3
Кількість Al 2 O 3 , мовляв.%
Структура кераміки
10
Матриця - зерна ОІ-Si 3 N 4 , єднальна аморфна фаза розподілена по межах зерен і потрійним стиках
20
Матриця двофазним: ОІ-Si 3 N 4 і - 3-5% ОІ'-сіалона, що посяде структуру ОІ-Si 3 N 4 , єднальна аморфна фаза розподілена по межах зерен і потрійним стиках
40
Матриця двофазним: ОІ-Si 3 N 4 і - 60-65% ОІ'-сіалона, спостерігається збільшення середнього розміру зерен до 3 мкм, кількість зв'язки різко знижене
60
Матриця однофазних: 90-95% ОІ'-сіалона, значне збільшення середнього розміру зерен до 10 мкм, мінімальна кількість зв'язки
При низькому вмісті оксидної фази (10-20% Al 2 O 3 ) у кераміці процеси збиральної рекристалізації Не активуються, розмір нітрідкремніевих зерен близько 1 мкм. Зерна матричної фази досить досконалі, щільність дислокацій в них незначна.
Картина тонкої структ...
