/>
Іонні насоси з гарячим катодом
Найпростішим іонним насосом з гарячим катодом є тріодний вакуумний манометр, у якому іонізація відбувається під впливом бомбардування молекул газу електронами, що рухаються між катодом і анодом. Утворилися іони сорбуються на колекторі і стінках балона, чому сприяє шар напиляного на стінки катодного або анодного металу. p align="justify"> Тріодної вакуумний манометр застосовувався в минулому (а іноді застосовується і в даний час) для отримання дуже високого вакууму в невеликих обсягах (Альперт). Виявляється, однак, що ефективність дії насоса стосовно активних газам визначається випаровуванням металу. Тому іонний насос з гарячим катодом не має самостійного практичного значення; його слід розглядати скоріше як іонно-сублімаційний насос, в якому забезпечується іонізація, необхідна для відкачування хімічно неактивних газів Насос цього типу при робочому тиску порядку 10-4 Тор швидко насичується внаслідок зміни знака заряду стінки у міру поглинання нею газу Тому такий насос доцільно використовувати при тиску ~ 10-7 Тор і нижче.
Іонно-сублімаційний насос з подачею титану
Рис. 3 Іонно-сублімаційний насос. (1-котушка з титанової дротом; 2-направляюча трубка; 3-тигель, що є анодом; К-катод; S-сітка; А-анод)
Принципова схема іонно-сублимационного насоса з подачею титану наведена на рис.3. Такий насос являє собою свого роду циліндричний тріод, в якому анод А має потенціал близько +1000 В, катод К в формі кільця - потенціал близько +100 В, а заземлений зовнішній циліндр (корпус) грає роль прийомного електрода для іонів, тобто є електродом, який відкачує гази. Уздовж осі системи електродів встановлена ​​напрямна 2 для подачі титанової дроту, яка, розмотуючись з ролика, надходить в тигель 3. Тигель (що має потенціал сітки) підігрівається бомбардуючими його електронами до температури, необхідної для випаровування титану. Титан осідає на стінках корпусу насоса, що має водяну сорочку або охолоджуваного змійовиком. Швидкість обертання ролика з дротом регулюється зовні. Іонізація газу в насосі відбувається під дією електронів, еміттіруемих катодом. Іонізовані, порушені і диссоційовані при цьому гази зв'язуються хімічно і фізично на поверхні і в глибині матеріалу, а також В«замуровуютьсяВ» безперервно осідаючими парами титану. p align="justify"> Наприклад, при випаровуванні титану зі швидкістю 5 мг В· с-1 швидкості відкачування різних газів будуть наступними:
н2 = 3000 л с-1, SN2 = 2000 л с-1, SO2 = 1000 л с-1, пов = 600 л с-1, SAr = 5л з -1.
Діаметр корпусу такого насоса складає ~ 40 см.
Іонно-сублімаційні тріодний насоси
