зоеффект, тільки на відміну від минулого типу тут використовується зворотний пьезоеффект - зміна форми пьезоматеріала залежно від подається струму. У датчиках даного типу використовується резонатор (наприклад пластина) з пьезоматеріала, на яку нанесено з двох сторін електроди. На електроди по змінно подається напруга різного знака, таким чином пластина згинається то в одну то в іншу сторону з частотою подається напруги. Але якщо на цю пластину подати силу, наприклад мембраною чутливої вЂ‹вЂ‹до тиску, то частота коливання резонатора зміниться. Частота резонатора і буде показувати величину, з якою тиск тисне на мембрану, а вона в свою чергу тисне на резонатор. br/>В
Рис. 2.2
На малюнку 2.2 наведено пьезорезонансний датчик абсолютного тиску. Він виконаний у вигляді герметичної камери 1. Герметичність досягається з'єднанням корпусу 2, підстави 6 і мембрани 10, яка кріпиться до корпусу за допомогою електронно-променевого зварювання. На підставі 6 закріплені два тримачі: 4 і 9. Тримач 4 кріпиться до основи за допомогою спеціально перемички 3 і він тримає силочутливі резонатор 5. Тримач 9, встановлений для кріплення опорного пьезорезонатора 8. p align="justify"> Мембрана 10 передає зусилля через втулку 13 на кульку 6, закріплений в тримачі 4. Шарик 4 передає силу тиску на силочутливі резонатор 5.Провода 7 кріпляться на підставі 6 і служать для з'єднання резонаторів 5 і 8 з генераторами 17 і 16 Вихідний сигнал абсолютного тиску формується схемою 15 з різниці частот генераторів. Датчик тиску поміщений в активний термостат 18 з постійною температурою 40 градусів Цельсія. Вимірюваний тиск подається через штуцер 12. br/>
1.3 тензорезистивного датчики
Тензорезистивні датчики працюють на основі чутливих елементів, принципом яких є вимірювання деформації тензорезисторів, сформованих у епітаксіальної плівці кремнію <# "181" src = "doc_zip4.jpg"/>
Рис. 2.3.1 Спрощений вигляд тезорезістівний датчика тиску
Датчик являє собою єдину конструкцію що складається з первинного мембранного тензопpеобpазователя тиску 1 (тензопpеобpазователя) і електронного блоку 2. p> Вимірюється тиск впливає безпосередньо через мембрану на тензопpеобpазователь. Електричний сигнал тензопpеобpазователя передається в електронний блок, в якому він перетвориться в уніфікований струмовий вихідний сигнал. br/>В
1 - Тензоперетворювач
- Електронний блок
- Штуцер
- Роз'єм
- Коректор нуля "0"
- Коректор діапазону "?"
- Засувка
- Гвинт кріплення роз'єму
Малюнок 2.3.2 - Типова схема пристрою малогабаритного перетворювача тиску
1.4 Напівпровідниковий датчик тис...
