ку
Пристрій для вимірювання тиску містить цоколь, проставку з напівпровідника, напівпровідниковий датчик тиску з основою і вимірювальної мембраною.
В
Рис. 2.4
Напівпровідникові датчики тиску виготовляються зазвичай на кремнієвій основі, наприклад, з використанням технології В«кремній на діелектрикуВ» (КНД-технологія). Вони виконуються у вигляді чіпа датчика тиску, який зазвичай має підставу і розташовану на підставі вимірювальну мембрану. У процесі вимірювання першого тиск подається на першу сторону вимірювальної мембрани. p align="justify"> Для реєстрації абсолютних тисків під вимірювальної мембраною передбачена закрита вакуумна камера. При цьому впливає на першу сторону вимірювальної мембрани першого тиск викликає залежне від вимірюваного абсолютного тиску відхилення вимірювальної мембрани. Отримане відхилення вимірювальної мембрани реєструється у всіх трьох випадках за допомогою розташованих на вимірювальній мембрані елементів датчика, наприклад, пьезорезісторов, і перетвориться в електричний вихідний сигнал, який далі передається для подальшої обробки та/або оцінки. p align="justify"> Напівпровідникові датчики тиску дуже чутливі і тому поміщаються в корпус, через який здійснюється подача відповідних тисків, видача даних за результатами вимірювання та монтаж пристрою для вимірювання тиску в місці вимірювання.
Для вимірювання абсолютних тисків знаходиться під вимірювальної мембраною камера закрита або вакуумована.
Для зниження виникаючих напруг між цоколем і напівпровідниковим датчиком тиску звичайно вставляється проставка, що складається з того ж матеріалу, що і напівпровідниковий датчик тиску. Однак і в даному випадку виникають зумовлені різними коефіцієнтами термічного розширення цоколя і проставки, наприклад, що залежать від температури, механічні напруги, які впливають на передавальну характеристику вимірювальної мембрани. p align="justify"> Пристрій (рис 2.4) включає в себе металевий цоколь 13, розташовану на цоколі 13 і з'єднану з цоколем 13 проставку 15 з напівпровідника, а також розташований на проставке 15 і сполучений з проставкой 15 напівпровідниковий датчик 17 тиску. p align="justify"> Напівпровідниковий датчик 17 тиску являє собою чіп датчика тиску на кремнієвій основі і має підставу 19 і підтримувану підставою 19 вимірювальну мембрану 21. Підстава 19 має дискообразную торцеву поверхню, яка розташовується на що має таку ж форму зовнішньої кромці проставки 15, і міцно пов'язане з нею. У процесі вимірювання першого тиск p1 подається до першій стороні вимірювальної мембрани 21. Друге тиск р2 подається до противолежащей цій стороні, другій стороні вимірювальної мембрани 21. При вимірі відносних тисків перший тиск p1 відповідає вимірюваному тиску, а друге тиск р2 базового тискові, до якого необхідно співвіднести вимірюється тиск. При вимірі перепадів тисків першого тиск p1 і ...
