0,2 мм [4]. p align="justify"> На керуючий електрод подається негативна Стосовно катода Напруга, что ставити звичайний кілька відсотків від напруги, что Діє между катодом и анодом. Пріскорювальна Напруга Забезпечує необхідну ШВИДКІСТЬ електронів, а Напруга на Керуючому електроді (при заданій відстані между катодом и Керуючому електродом) візначає параметри пучка, генерованого електронною Гарматій: діаметр найменшого Перетин пучка; щільність Струму у цьом перетіні; Апертурний кут, что характерізує розходженість пучка електронів, что Прокуратура: Із цього Перетин; Електрон яскравість [5].
В
Малюнок 1.3 - Зовнішній вигляд (а) та конструкція (б) Електронної Гарматій [7]
На Електрон, Які Прокуратура: у результаті термоемісії Із катода, Діє електричне поле, пріскорююче между анодом и катодом и гальмівне - между катодом и Управляюча електродом (ціліндром Венельта). Если гальмівне поле буде занадто великим, то Електрон НЕ зможуть его подолати и гармата буде замкнену, тоб НЕ віпромінюваті Електрон. Если поле мале, то ВСІ Електрон пріскорюються и проходять в отвір в аноді. Альо в цьом випадка отрімаємо сильно розходженій пучок. Оптимальним являється такий режим роботи Гарматій, колі пріскорююча Напруга відбірає НЕ ВСІ емітовані Електрон и вокруг катода утворюється посторовій заряд, електронна хмара, Із Якої и надходять Електрон в пучок. Цею заряд дозволяє Суттєво Зменшити Вплив Коливань Струму розжарювання на струм пучка и его яскравість [5, 7]. p align="justify"> Оптимальний Потенціал керуючого електрода поклади від Густиня Струму емісії катода, тоб від его температури. Чім Вище температура катода, тім больше емітується електронів, тім менше винна буті величина замікаючого поля керуючого електрода. Для регулювання потенціалу керуючого електрода между катодом и електродом включається змінний резистор, спадання напруги на якому за рахунок проходження Струму пучка ї візначає необхідну величину й знак потенціалу [5]. p align="justify"> Електронна гармата генерує електронний пучок з діаметром 50-100 мкм. Далі Електрон фокусуються за помощью двох конденсорних Лінз и дають необхідну Освітленість у точці Дослідження, та діаметр пучка 1-5 мкм [4]. p align="justify"> Перша конденсорних лінза утворює зменшеності пріблізно в 100 разів зображення найменшого перерізу пучка, а друга конденсорних лінза переносити зменшеності зображення мінімального перерізу пучка в предметних площинах про єктівної лінзі.
Система Формування зображення має за мету создать зображення про єкта Із великим збільшенням. Вона Складається, з трьох блоків: про єктівного, проміжного та проективного.
Об'єктивний блок являє собою сильно лінзу з малим фокусом: 2-3 мм для магнітніх Лінз и 6-7 мм для електростатічніх. Об'єкт, освітлюваній електронним пучком, генерованій освітлю...
