льних світових витрат, відповідно. Третє місце займає Китай - 16%. Цілком можливо, що в еру 450-мм пластин збережеться велике число заводів з обробки 300-мм пластин.
. Вихідні дані
Мінімальний розмір елемента d, мкм 0,5
Число елементів N, шт 7.10 5
Напруга живлення U DD, В 2,2
Товщина подзатворного діелектрика t ox,? 100
Площа кристала S кр, мм 2290
Число контактних майданчиків на чіпі n кп, шт 1500
Розмір контактних майданчиків S кп, мкм 2 45 2
Крок контактних майданчиків, мкм 80
.1 Додаткові дані для розрахунку
Діелектрична проникність SiO 2? i, Ф / м 3,9
Діелектрична проникність Si? , Ф / м 11,9
Діелектрична постійна? 0, Ф / м 8,85 · 10 - 12
Концентрація вільних носіїв n, см - 3 1,5 · 10 - 10
Рухливість вільних носіїв? n, м 2 / c · В 0,15
. Розрахункова частина
.1. Виконання умови сильного електричного поля в каналі МОП транзистора
Критерій сильного поля
де - швидкість звуку
Напруженість у каналі:
Умови сильного поля в каналі виконуються, отже, швидкість електронів в каналі приймається рівною швидкості насичення.
.2 Час прольоту носіїв в каналі МОП транзистора
Для сильних полів використовується формула:
Для кремнію при кімнатній температурі
.3 Вибір перерізу смужки металізації
ширина смужки
відстань між смужками
крок металізації
товщина смужки металізації
Перетин смужки металізації:
.4 Визначення критичного значення струму, що протікає через смужку металізації в разі, якщо її матеріалом обраний алюміній
.5 Розрахунок опору відкритого транзистора з метою подальшого визначення струму, що протікає через транзистор і усереднену смужку металізації, для можливості вибору матеріалу металізації
Опір розраховується за формулою:
де
рухливість вільних носіїв для кремнію
питома ємність подзатворного діелектрика
товщина подзатворного діелектрика
діелектрична проникність вакууму
діелектрична проникність SiO 2
Для розрахунку приймемо
відношення ширини каналу до довжини каналу
різниця між напругою затвор-витік транзистора і пороговою напругою
.6 Розрахунок струму в ланцюзі відкритого транзистора
Опір навантажувального транзистора береться на порядок більше, ні...
