* 10 - 5 lt; 1 * 10 - 5 lt; 1 * 10 - 5 Максимальний робочий тиск на вихлопі, Па2000800800Скорость обертання ротора, об/мін60 00049 20049 200Тіп охладеніяводяноеводяноеводяноеПітаніе/споживана мощность48В/300Вт48В/300Вт48В/300ВтМасса, кг13,1 - 17,215,7 - 20,817,1 - 21,5
турбомолекулярний насоси з підшипниками KYKY (Китай)
ХарактерістікіFF - 100/110EFF - 160/700EFF - 160/700FEFF - 200/1300EFF - 200/1300FEFF - 250/2000EБистрота дії, л/с150700700130013002000Степень сжатіяN 2 10 8 10 9 10 9 10 9 10 9 10 вересня H 2 5х10 2 6х10 6 6х10 6 6х10 3 6х10 3 6х10 3 Граничний вакуум, не гірше, ПаISO4.5х10 - 7 6х10 - 7 6х10 - 7 6х10 - 6 6х10 - 6 6х10 - 6 CF4.5х10 - 8 6х10 - 8 6х10 - 8 6х10 - 7 6х10 - 7 -Вх. фланець, Ду, мм.ISO100ISO160ISO160ISO200ISO200ISO250Вих. фланець, Ду, мм.KF25KF40KF40KF40KF40KF50Положеніе монтажалюбоеОхлаждениевода-воздухводавода-воздухводавода-воздухвода
Кріосорбціонние вакуумні насоси SICERA ™ Cryopump
При потужності всього 0,9 кВт, завдяки запатентованій инверторной технології, насоси серії SICERA змінюють визначення «низьке споживання енергії», зменшуючи Ваші витрати на електроенергію на 20-30%. Якісно нова система дозволяє одночасно використовувати до шести насосів (200 мм) на одному компресорі без зменшення продуктивності.
Насоси серії SICERA доступні з розмірами фланців 200 і 300 мм, обидві моделі мають повністю автоматичний цикл регенерації, що дозволяє максимізувати час продуктивної роботи. В результаті, економія електроенергії і збільшена виробнича ефективність роблять насоси цієї серії ідеальними для таких застосувань як масове виробництво напівпровідникових пластин, плоскопанельних дисплеїв і інших схожих виробництв.
Технічні характеристики
МодельCP - 8CP - 8LPCP - 250LPCP - 12CP - 16CP - 20SICERA 8 »SICERA 12» Швидкість відкачування (л/сек)Воздух15001800306036004800970015003300Вода4200420063009560173002910040009500Аргон12501500250031004100830012002700Водород2300300050007300120001400022006000Пропускная способностьАргон (тор-л/сек) 11.011.011.012.611.411.38.98.9Аргон (см3/хв) 8708708701000900900700700Емкость (стандартні літри) Аргон при 1x10-6 торp12001600160031005500600010002000Водород при 5x10-6 торp2525255050331230Параметр включення в роботу (торр-літри) - 220220220650500400150150Время захолажіванія ( хв) - 7511011090135190120150Входной фланецANSI6 »6» - 10 »- 20» - ISO200 мм200 мм250 мм320 мм400 мм500 мм - Conflat10 »10» --- - 253-CVC-- - 10 »10» ---
Кріогенні вакуумні насоси CTI Cryogenics (США)
Кріонасос/характерістікіCryoTorr 4F * CryoTorr 8 і 8F * CryoTorr 250F * CryoTorr 10 і 10F * CryoTorr 400CryoTorr 20HPДу фланця, мм100200250320400500Скорость відкачування, л/секПо азоту370150022003000600010 000По парам води11004000650090001600031500По водороду370250032005000500015000По аргону31012001800250050008400Емкость по аргону, ст. л.21010001000200025005700Емкость по водню, ст. л.31716241546Время захолажіванія, хв. (при 50 Гц) 90110120120180150
Кріогенні вакуумні насоси Oxford Instrument (Англія)
Модель кріонасосаCryo-Plex 8LPCryo-Plex 8Cryo-Plex 10Cryo-Plex 16Скорость відкачування (л/с): По парам води40004000900016000По воздуху1500150030005000По водороду2200250050005000По аргону1200120025004200Проізводітельность при 5x10 - 6 Torr (ст. л/хв): За водороду12182415По аргону1000100020002500Максімальная газова навантаження: За аргону (ст. л/хв) 7007001,500500Время охлажденія90 мін90 мін60 мін150 мінГабаріти: Висота (мм) 179526607610Масса (кг) 20213972Входной фланецANSI/ISO/CF DN200ANSI/ISO/CF DN200ANSI/ISO/CF DN320ISO/CVC DN400
Проникність
Проникнення газу крізь стінки судини є наслідком розчинення і дифузії газу, описуваних рівняннями:
(Коефіцієнт дифузії газу експоненціально залежить від температури матеріалу)
(де u=1, 1/2, 1/3, ... в залежності від кількості атомів в молекулі.)
Кількість газу, що протікає через 1 см 2 поверхні стінки одиничної товщини протягом 1 с, тобто питомий потік I1, залежить від коефіцієнта дифузії D, коефіцієнта розчинності r і від тисків по обидві сторони стінки. Залежність потоку від тиску більш складна, ніж у випадку течії вільного газу.
При розчиненні відбувається дисоціація газу, що залежить від кількості атомів в молекулі. У зв'язку з цим потік газу крізь стінку пропорційний різниці тисків в ступені u, тобто Рu 2 -pu 1 - причому тут вірні ті ж критерії, що й при розчиненні.
Якщо всередині вакуумної системи тиск низький, а...
