Теми рефератів
> Реферати > Курсові роботи > Звіти з практики > Курсові проекти > Питання та відповіді > Ессе > Доклади > Учбові матеріали > Контрольні роботи > Методички > Лекції > Твори > Підручники > Статті Контакти
Реферати, твори, дипломи, практика » Статьи » Дослідження можливості отримання плівок кобальту методом CVD

Реферат Дослідження можливості отримання плівок кобальту методом CVD





ільшилися (Малюнок 5). На думку авторів, це говорить про відсутність втрат змісту Co в плівках і реакцій окиснення після відпалу. Варто відзначити, що вимірювання магнітних характеристик проводилися в напрямку перпендикулярному до площини зразка.


Малюнок 5 -петлі гістерезису, виміряні при кімнатній температурі до відпалу (as-deposited) і після відпалу (annealed), для плівок системи Co-Pt, отриманих електрохімічним осадженням на підкладки пористого Si


В роботі [13] плівки системи Co-Pt з подслоем Ag були обложені на скляну підкладку магнетронним розпиленням Co, Pt і Ag мішеней при кімнатній температурі.

Згідно з результатами роботи [13] виявлено, що зі збільшенням температури відпалу від 600 до 700 0 С спостерігається зростання коерцитивної сили плівок Co-Pt c подслоем Ag. Причому після відпалу при 700 0 С коерцитивної сила плівок підвищується із зростанням їх товщини (в інтервалі товщин від 1 до 20 нм) і досягає високих значень (понад 1 млн А/м).

Також за результатами даної роботи встановлено, що із зростанням температури відпалу від 600 до 700 0 С підвищується ступінь прямокутності петлі гістерезису плівок Co-Pt c подслоем Ag. Причому ступінь прямокутності в плівок, відпалених при 700 0 С, збільшується із зростанням їх товщини до 1 (в інтервалі товщин від 1 до 20 нм).

Крім того, було показано, що в інтервалі товщин 7,5-10 нм спостерігається максимальна різниця між значеннями прямокутності петель гістерезису, отриманими в площині плівки і перпендикулярно їй, що говорить про наявність високої перпендикулярної магнітної анізотропії.

В роботі [15] також досліджено вплив відпалу на магнітні властивості плівок системи Co-Pt - перпендикулярну магнітну анізотропію і коерцитивної силу. Крім того, досліджена залежність коерцитивної сили від товщини плівок. Показано, що наявність впорядкованої фази в плівках системи Co-Pt призводить до виникнення в них перпендикулярної магнітної анізотропії з легкою віссю, нормальної до їх площині. Як наслідок, такі плівки можуть бути використані для магнітної і термомагнитной запису і зберігання інформації.

Плівки були отримані методом магнетронного напилення вихідних чистих елементів на скляні підкладки.

До відпалу дані плівки незалежно від товщини характеризувалися двома легенями осями намагнічування, розташованими перпендикулярно один одному в площині досліджуваних плівок.

Ступінь прямокутності петлі гістерезису плівок, досліджуваних у роботі [15], до відпалу становила 0,6? 0,8 для всього досліджуваного діапазону товщин (від 2 до 60 нм). Величина коерцитивність поля даних плівок також не залежала від товщини і становила 40000 А/м.

Після відпалу (витримка при 700 0 C протягом 30 хв і охолодження до 600 0 C зі швидкістю 10 0 C/хв, далі отжиг при 600 0 C протягом 60 хв і охолодження зі швидкістю 1 0 C/хв) в плівках системи Co-Pt спостерігається виникнення впорядкованої фази типу L1 0 (тетрагональна гранецентрированная решітка з співвідношенням постійних решітки c/a lt; 1). При цьому орієнтація тетрагональних кристалітів відносно площини плівки змінюється в залежності від її товщини.


Малюнок 6 - Залежність величини коерцитивної сили Hc, виміряної в легкому напрямку намагнічування, від товщини плівок системи Co-Pt


У плівках товщиною 2? 20 нм кристаліти впорядкованої фази орієнтуються віссю з нормально до площини плівки. У плівках, що мають великі товщини, спостерігаються ділянки з чергуванням смуг різного контрасту за напрямками [100]. Освіта впорядкованої фази призводить до суттєвих змін магнітної анізотропії плівок. Оскільки вісь _c_ впорядкованої фази є віссю легкого намагнічування, то тонкі плівки стають магнітоодноосних з легкою віссю, нормальної до їх площині. Величина коерцитивної сили Hc для плівок з товщиною, яка перевершує 20 нм, мінялася в межах 8? 12 kOe. У свою чергу, величина Hc термооброблених плівок з товщинами менше 20 нм залежить від товщини зразка. Коерцитивна сила, виміряна в легкому напрямку намагнічування, збільшується від 1,5 до 9 kOe при зміні товщини плівок від 5 до 20 нм (Малюнок 6). Петлі гістерезису даних плівок характеризувалися ступенем прямокутності рівною 1.

У роботах [16] і [17] перпендикулярна вісь легкого намагнічування виникала внаслідок утворення низькотемпературної впорядкованої фази L1.

В роботі [16] показані фазові перетворення плівок Co-Pt, обложених на підкладки MgO (111) при різних температурах.

Встановлено, що в інтервалі температур осадження від кімнатної до 250 0 С в плівках системи Co-Pt існує неупорядкована фаза А1. В інтервалі температур від 250 до 500 0 С спостерігається вп...


Назад | сторінка 5 з 19 | Наступна сторінка





Схожі реферати:

  • Реферат на тему: Ступінь окислення. Вплив методів отримання плівок SiO2 на їх властивості
  • Реферат на тему: Дослідження впливу параметрів MOCVD-осадження на структуру, електричні і ма ...
  • Реферат на тему: Технологія отримання та фізичні властивості тонких плівок
  • Реферат на тему: Методи Отримання та Властивості метал-фулеренових плівок
  • Реферат на тему: Дослідження магнітних спектрів композитних плівок на лавсановій підкладці