садження плівок Co. Також показано, що магнітні характеристики істотно змінюються в залежності від орієнтації прикладеного зовнішнього магнітного поля.
В роботі [1] досліджено вплив температури осадження на морфологію поверхні плівок Co, отриманих методом CVD. Показано, що зі збільшенням температури осадження від 110 до 300 о С зростає шорсткість поверхні плівок. Крім того, зростання шорсткості спостерігається і з збільшенням часу їх осадження. Крім цього, виявлені закономірності зміни магнітних характеристик в залежності від температури осадження плівок. Показано, що коерцитивної сила зменшується з зростанням температури осадження. Залишкова намагніченість і намагніченість насичення також змінюються при варіюванні температури осадження плівок Co, але їх зміна має складний екстремальний характер: відношення залишкової намагніченості до намагніченості насичення з ростом температури осадження спочатку збільшується і досягає максимуму, а потім знижується.
1.3 Вплив умов осадження на структуру та магнітні властивості плівок системи Co - Pt
Плівки системи Co - Pt представляють величезний інтерес для досліджень завдяки наявності в них перпендикулярної анізотропії, т. е. можливості виникнення в них осі легкого намагнічування, спрямованої перпендикулярно до площини плівки. Дана властивість широко використовується для створення пристроїв з ультрависокої щільністю запису даних.
Щільність запису даних залежить від розміру доменів - чергуються ділянок на поверхні носія запису з протилежними напрямками намагніченості. Чим менше розмір домену, тим вище щільність запису інформації. В свою чергу, мінімальний розмір домену, стійкого до ефекту саморазмагнічіванія, залежить від величини коерцитивної сили. Чим більше коерцитивної сила, тим менше мінімальний розмір стійкого домену (він стає більш стійким до ефекту саморазмагнічіванія і до дії зовнішніх магнітних полів). Розмір стабільного домену також залежить від товщини плівок. З пониженням товщини плівок послаблюється розмагнічуюче поле доменів і, як наслідок, зменшується їх мінімальний розмір при колишніх значеннях коерцитивної сили [10].
Крім того, для якісного відтворення записаної інформації (зниження впливу перешкод на корисний сигнал, підвищення чутливості пристрою) необхідна висока залишкова намагніченість носія (плівки), оскільки саме статичний розподіл намагніченості в магнітному шарі носія перетвориться в електричний сигнал. При однаковій намагніченості насичення велику залишкову намагніченість матиме матеріал з прямокутною петлею гистерезиса. Отже, матеріал носія інформації повинен характеризуватися гістерезисом з високим ступенем прямокутності - близькою до одиниці. У цьому випадку залишкова намагніченість в матеріалі носія приблизно дорівнює його намагніченості насичення. В роботі [10] зазначено, що петлю гістерезису з високим ступенем прямокутності мають металеві магнітні плівки з товщинами менше 100 нм. Прямокутність петлі обумовлена ??стрибкоподібним переміщенням доменних меж, в результаті якого зміна намагніченості відстає від зміни напруженості зовнішнього магнітного поля. Плівки з товщинами більше 100 нм характеризуються більш плавним розмагнічуванням. У результаті залишкова намагніченість у таких плівок істотно менше намагніченості насичення.
Таким чином, матеріал носія інформації повинен володіти високими значеннями коерцитивної сили, невеликою товщиною (менше 100 нм), високою залишкової намагніченістю і високим ступенем прямокутності петлі гістерезису.
Варто відзначити, що перпендикулярна магнітна запис внаслідок можливості зменшення мінімальних розмірів доменів забезпечує в кілька разів більш високу щільність запису в порівнянні з поздовжньою [10,11]. З цього випливає, що плівки системи Co-Pt, що володіють перпендикулярного магнітного анізотропією, дуже перспективні в якості матеріалу носія інформації.
У роботах [12], [13], [14] і [15] перпендикулярна вісь легкого намагнічування плівок системи Co - Pt створювалася шляхом отримання впорядкованої фази L1 0, що представляє собою тетрагональную гранецентрированную грати із співвідношенням постійних решітки c/a lt; 1. Дану фазу в плівках системи Co-Pt отримували або в результаті їх відпалу при температурах 600-700 0 С [12,13,15], або безпосередньо відразу після вирощування методом молекулярно-променевої епітаксії у високому вакуумі при 627 0 С ([ 14]).
За результатами роботи [12] виявлено значне збільшення коерцитивної сили плівок Co - Pt після їх відпалу при температурі 600 0 С протягом 30 хвилин в атмосфері аргону. Автори пояснюють дане збільшення освітою в результаті відпалу впорядкованої фази L1 0. Крім того, в даній роботі зазначено, що при цьому намагніченість насичення плівок і ступінь прямокутності петлі гістерезису також зб...