уктивність установки періодичної дії невелика, так як перед кожною черговою завантаженням партії підкладок в робочу камеру напускають атмосферне
проведення наступного технологічного циклу. Крім того, при напуск повітря на стінках робочої камери конденсується волога, що призводить до забруднення плівок при наступному технологічному процесі.
Залежно від компонування розрізняють установки з вертикальною або горизонтальною циліндричної робочої камерами і з кубічної.
1.2.2 Вакуумні установки полунепреривного дії
Вакуумні установки полунепреривного дії зазвичай мають шлюзову і робочу камери, розділені затвором. Проводиться відкачування тільки шлюзових камер невеликого обсягу, що підвищує продуктивність установок, оскільки виключається непродуктивне час їх періодичної відкачування до високого вакууму.
Рис. 5. Вакуумна установка полунепреривного дії
Так як для створення в робочій камері вакууму порядку 10? 4 - 5? 10? 5 Па необхідно 1,5 - 2год. (навіть при розігрітому диффузионном насосі), а час нанесення одного шару зазвичай не перевищує 1-1,5 хв, у вакуумних установках застосовують шлюзові камери, що дозволяють, не порушуючи вакууму (за один вакуумний цикл), послідовно або одночасно обробляти кілька партій підкладок. При цьому в шлюзовій камері розміщується тільки змінний подложкодержатель з підкладками, а технологічне оснащення (у тому числі пристрої випаровування або іонного розпилення) весь час перебуває в умовах вакууму. Крім збільшення продуктивності такий принцип роботи установок сприяє підвищенню відтворюваності параметрів наносяться тонких плівок, оскільки робоча камера не повідомляється з атмосферою.
Найбільш продуктивними установками полунепреривного дії є багатопозиційні установки карусельного типу (рис.3), призначені для нанесення двошарових плівок методом магнетронного розпилення. Установка має розмішені в обший робочій камері чотирьох робочі позиції: завантаження-розвантаження планетарних подложкодержателей; нагріву підкладок; першого і другого розпилення.
Підйомна кришка робочої камери 8 забезпечує доступ до внутрікамерним пристроям для їх обслуговування, ремонту й очищення. Обробка підкладок виробляється на планетарному подложкодержателе 3 з двома осями обертання, який послідовно перекладається з позиції на позицію покроковим поворотом каруселі 4 на 90 ° пневмоприводом.
На першій позиції подложкодержателі завантажують через відкидну кришку 2 і шлюзову камеру 1, а потім відкачують її форвакуумним насосом, приєднаним до патрубка 15.
На другій позиції підкладки нагрівають за допомогою кварцових ламп.
На третій і четвертій позиціях, які є камерами розпилення 9 і мають однакову конструкцію, на нагріті підкладки за допомогою магратронов 5 послідовно наносять два шари плівки.
Малий дифузійно-щілинний зазор між позиціями нанесення плівок і спільної робочої камерою забезпечує необхідний перепад тисків при напуск через натекатель 6 робочого газу (аргону) безпосередньо в зону розряду.
Для ефективного нагріву підкладок, а також рівномірності нанесення плівок на трьох робочих позиціях установки передбачено обертання планетарних подложкодержателей механічним приводом 7. Після закінчення робочого циклу кожен подложкодержатель повертається на першу позицію в шлюзову камеру, де його вивантажують.
Поворот каруселі на крок відбувається тільки після того, як затвор шлюзової камери 1 і механізм вакуумної блокування камери розпилення 9 опуститься вниз, з'єднуючи їх обсяги із загальною робочою камерою 8.
откачного система 10 з паромаслянимі дифузійним насосом 13 розташована із задньої сторони робочої камери. Для оберігання робочого об'єму від парів масла між дифузійним насосом 13 і високовакуумними затвором 11 знаходиться азотна пастка 12.
Автоматичне управління установкою здійснюється програматором і забезпечує стабілізацію струму розряду по тиску робочого газу, послідовність роботи механізмів і напуск газу в шлюзову камеру.
При роботі установки робоча камера за допомогою дифузійного насоса і виморожувати азотної пастки відкачується до тиску не вище 1,33? 10? 2 Па (10? 4 мм рт. Ст.). Після цього при наявності в системі охолодження камери холодної води включається нагрівач і підкладки прискорено розігріваються до заданої температури.
При створенні необхідного вакууму в робочій камері і подачі аргону включаються магратрони на позиції розпилення. Для отримання якісних плівок і стійкої роботи магратронов використовують тільки хімічно чистий і осушене аргон. Швидкість осадження плівки на підкладки залежить від по...
