ри підході до впускного патрубка пластини Б (положення II). При цьому обсяг, що знаходиться перед пластиною А, відсікається від відкачуваного. Потім газ, захоплений у відсічений обсяг, переганяється до випускного патрубку, стискається пластиною А і викидається в атмосферу (положення III) через вихлопний клапан 7.
Положення III збігається з початковим становищем I, з тією різницею, що пластини міняються місцями. Далі робота насоса триває в описаному порядку. У робочій камері між пластинами завжди є три об'єму: розрідження, переганяється і стиснення.
Таким чином, кожна пластина виконує подвійну роль: з одного боку, як би тягне за собою газ, що надходить з впускного отвору, а з іншого - стискає надійшов газ для викидання його за межі насоса через випускний патрубок. При безперервному обертанні ротора всмоктування і викидання газу почергово виробляються обома пластинами, в результаті чого і відбувається відкачування вакуумного обсягу, до якого насос приєднується впускним патрубком.
Так працює одноступінчатий насос, який створює вакуум порядку 10 Па. Для отримання залишкового тиску по повітрю до 10? 1 Па застосовують двоступінчастий насос, що складається з двох послідовно з'єднаних ступенів, розміщених в одному корпусі. Перша ступінь забезпечує форвакуум для другого ступеня, яку часто називають високовакуумної. Ці ступені можна уподібнити двом окремим насосам, причому випускний патрубок одного з них (найближчого до відкачуваного об'ємом) приєднується до впускного патрубка іншого.
1.1.2 Дифузійні паромасляні насоси
Рис. 3. Триступінчастий дифузійний паромаслянимі насос
Дифузійні паромасляні насоси є найбільш поширеним високовакуумним засобом відкачування і широко застосовуються в різних областях вакуумної техніки.
паромаслянимі насоси дозволяють створювати вакуум до 10? 5 Па.
Триступінчастий дифузійний паромаслянимі насос (рис. 3) має циліндричний корпус 12, охолоджуваний холодною водою, що протікає по змійовику 2. Вхідний патрубок 1 у верхній частині корпусу служить для приєднання насоса до відкачуваного обсягом. Випускний патрубок 3 розташований в нижній частині корпусу, яка представляє собою кип'ятильник, куди заливається масло 5, що підігрівається зовні електронагрівачем 4. Паропроводи 6, 7, 8 розташовані в корпусі насоса і закінчуються зонтичними соплами 9, 10,11.
При включенні насоса робоча рідина (спеціальне масло) нагрівається в кип'ятильник, утворилися пари піднімаються по паропроводах 6, 7 і 8, проходять по паропроводах вгору і з великою швидкістю викидаються як струменів через направлення під кутом до охолоджуваної стінці насоса сопла 11, 10 і 9 відповідно першої, другої і третьої ступенів. Молекули відкачуваного газу дифундують в струмені пари першого ступеня і разом з ними спрямовуються на охолоджувані водою стінки насоса. При цьому пари масла конденсуються і утворилися краплі стікають в кип'ятильник.
Так забезпечується безперервна циркуляція робочої рідини в насосі. Захоплений струменем пари газ викидається в основному вниз, послідовно дифундує в струмені пари другої і третьої ступенів і викидається через вихідний патрубок 3.
паромаслянимі насоси не працюють без попереднього механічного насоса, що приєднується до їх вихідного патрубку і забезпечує попереднє розрідження, а також без водяного охолодження кожуха. Припинення подачі води у водяну сорочку може привести до перегріву насоса і згорянню масла, а отже, до порушення нормальної роботи.
Недолік дифузійних паромасляних насосів - можливість попадання в відсмоктується робочий об'єм молекул масла, що може відбуватися двома шляхами: прольотом в паровій фазі та міграцією по стінках вакуумних трубопроводів. Так як проникли в технологічний обсяг молекули масла осідають на підкладках і забруднюють наносяться плівки, такі насоси
1.2.1 Вакуумні установки періодичної дії
Вакуумні установки періодичної дії (рис. 2) мають тільки одну робочу камеру, в якій періодично проводяться всі стадії технологічного процесу: завантаження оброблюваних підкладок, відкачування робочої камери, попередня обробка підкладок (нагрівання, очищення), нанесення плівки, напуск повітря до атмосферного тиску, вивантаження підкладок.
Рис. 4. Вакуумна установка з циліндричною вертикальною робочою камерою
Ці установки в даний час найбільш поширені в промисловості, так як вони прості по конструкції, легко переналагоджуються і досить дешеві. До тонких плівок, що наноситься на цих установках, пред'являють невисокі вимоги по рівню відтворюваності технічних параметрів.
Прод...
