тужності магратронов, а при заданому стабілізованості напрузі їх харчування також від струму, який, у свою чергу, визначається тиском аргону на робочій позиції.
Найбільшу швидкість розпилення отримують при тиску аргону 6,65? 10? 1 - 2,66? 10? 1 Па (5? 10? 3 - 2? 10? 3 мм рт. Ст.). Для підтримки оптимальної швидкості розпилення рекомендується працювати при напружених від 370 до 460 В і токах від 7,5 до 12 А. При заданій напрузі живлення струм магратронов підтримується за допомогою блоків стабілізації струму розряду зміною на позиціях розпилення тиску аргону, який подається за допомогою електромагнітного натекателем 6. Товщина плівки визначається часом її нанесення при заданої потужності магратрона.
На позиції перевантаження кожного разу після закінчення часу циклу в шлюзову камеру щоб уникнути окислення нанесеною плівки подасться азот і після цього через заданий час включаються звукова та світлова сигналізації, що попереджають оператора про необхідність перевантаження. Після перевантаження подача азоту припиняється і при закритій кришці 2 шлюзової камери форвакуумний насос відкачує її до тиску не вище 1,33 Па (10? 2 мм рт. Ст.). Потім через обвідний клапан малого перетину при закритому форвакуумним клапані шлюзова камера відкачується до тиску, близького до тиску в робочій камері. По закінченні часу циклу затвори шлюзовий і розпилювальних камер опускаються вниз, повідомляючи їх з робочою камерою, а механізм переміщення пересуває карусель з позиції на позицію. Після цього затвори шлюзу і розпилювальних камер піднімаються вгору і знову на кожній позиції виконуються розглянуті операції.
1.2.3 Вакуумні установки безперервної дії
Установки безперервної дії (Рис.6) відрізняються тим, що зазвичай мають кілька камер, а також вхідний і вихідний шлюзи, дозволяють виключити вплив откачной системи на цикловую продуктивність і забезпечують однорідні і стабільні умови процесу нанесення плівок. В даний час ці установки отримують все більше поширення.
Вакуумні установки потокового типу з безперервним переміщенням підкладок і поштучної їх завантаженням працюють за принципом з касети в касету. Основними частинами установки є: робоча камера, розміщена на каркасі; агрегати високовакуумної відкачування і відкачування шлюзів; нагрівач і пристрій транспортування; шафи харчування магратронов, управління очищенням і установкою в налагоджувальному і ручному режимах, а також по восьми запрограмованим технологічним процесам в автоматичному режимі.
Рис. 6 Установка безперервного типу
У шафі керування маються дисплей і мікропроцесор на основі ЕОМ, яка управляє транспортуванням і нагріванням підкладок, напуском аргону в зони розпилення і травлення, режимами роботи трьох магратронов, шлюзових пристроїв, а також веде рахунок пластин, забезпечує контроль всіх систем і блокування при відмові будь-якої з них.
У робочій камері 4 з нержавіючої сталі розміщений конвеєр 13. Кришка 9 вгорі камери забезпечує доступ до внутрікамерним пристроям для їх обслуговування, ремонту та періодичного очищення. Одночасно вона служить для розміщення ВЧ пристрої 5 іонного очищення підкладок і трьох магратронов 6, розташованих в камері розпилення 8 з вакуумною блокуванням.
Пристрої іонного очищення і магратрони оснащені натекателем для напуску робочих газів. Так як тиск і склад атмосфери в робочій камері 4 і камері розпилення 8 різні, вони для проходження ланцюгів конвеєра з'єднуються один з одним каналами, що мають малу пропускну здатність для газових потоків. Це забезпечує перепад тисків у камерах на два порядки. При тиску аргону 1,3 Па в камері розпилення в робочій камері підтримується тиск 5? 10 - 3 Па.
Шлюзова система виконана у вигляді двох розташованих на торцевих сторонах робочої камери вхідного 2 і вихідного шлюзів. Кожен шлюз оснащений щілинним вакуумним затвором 3, що відокремлює його від робочої камери 4, і столом для розміщення порожньої та заповненої підкладками касет. Завантажують і вивантажують касети вручну через двері в шлюзових камерах. При завантаженні підлягають обробці підкладки 7 встановлюються в касеті в шлюзовий завантажувальний механізм крокового дії і поштучно подаються на конвеєр 13 через шлюзовий затвор 3. Привід конвеєра, виконаного у вигляді ланцюга з нержавіючої сталі, розташований зовні вихідного шлюзу. Розпилення загрожених матеріалів відбувається зверху вниз при безперервному русі підкладок. Після нанесення плівок підкладки потрапляють у вихідний шлюз і послідовно укладаються в приймальню транспортну касету.
Патрубок в середній частині камери служить для під'єднання високовакуумного откачного агрегату, що складається з криогенного насоса 10, затвора і клапанів на магістралі ф...
