родутового випарника з сепарацією плазмового потоку в магнітному полі. Застосування цього випарника виключає можливість потрапляння на оброблювані деталі крапельної фази розпорошується матеріалу. p align="justify"> Для поліпшення очищення на карусель подається негативний потенціал, що сприяє впровадженню іонів титану в поверхневий шар оброблюваних деталей.
Установка складається з чотирьох основних частин: стійки живлення генератора вуглецевої плазми, блоку живлення випарника, стійки живлення і управління і блоку вакуумного.
У блоці вакуумному установки розташовані всі основні технологічні вузли і системи, а стійки харчування забезпечують харчування і керування таких пристроїв:
- імпульсного генератора вуглецевої плазми;
- електродуги випарника з сепарацією плазмового потоку;
- джерела іонного травлення типу "Радикал";
- приводів каруселей;
- приводу заслінки;
- системи напуску газу;
- системи водоснабж; - системи вакуумної.
. Можливі несправності та методи їх усунення
Найменування неісправностіВероятная прічінаМетод устраненія1. Не включається установкаСработал автомат захисту QP1 в стійці харчування та управленіяРучку автомата QPI відвести вниз до відмови і звести вгору до щелчка2. Не включається механічний насосСработал автомат захисту QF2 в стійці харчування та управленіяРучку автомата QF2 відвести вниз до відмови і звести вгору до щелчка3. Не включається один з клапанів: форвакуумний клапан, байпасний клапан, високовакуумний клапан, заслінка, клапан напуску, клапан азоту, клапан холодної води, клапан гарячої води, натекатель.Перегорел один із запобіжників FU2 .. . FUII в блоці вакуумному 1Проверіть і заменіть4. Не включається нагрівач дифузійного насосаСработал автомат захисту QF3 стійки харчування та управленіяРучку автомата QF3 відвести вниз до відмови і звести вгору до щелчка5. Не включається привід обертання каруселейПерегорел запобіжник FU1 в блоці вакуумномПроверіть і заменіть6. Не регулюється тиск газів в робочому обсязі. Не включається клапан газовийПерегорел запобіжник FU1 в блоці управління газом. Перегорів запобіжник FU1 в блоці управління газомПроверіть і замінити Перевірити і заменіть7. Не включається блок живлення випарника при кнопці в БУІПерегорел один із запобіжників FU1 ... FU3 в БПИ. Спрацював автомат захисту QFI в БПІПроверіть і заменітьч Ручку автомата відвести вниз до відмови і звести вгору до щелчка.8. Не горять лампи "МЕРЕЖА" в БПІПерегорел один із запобіжників FU1 ... FU3 в БПИ. Несправні лампи HL1 ... HL3.Про...
