"> Вакуумні установки безперервної дії компонуються приблизно за однією схемою і складаються з вхідних і вихідних камер, завантажувальних і розвантажувальних пристроїв, що транспортує механізму і робочої камери. Збирають ці установки з модулів - пристроїв, які легко приєднуються і знімаються. При цьому змінюються габарити установки, її технологічний цикл і продуктивність. br/>
.3 Вакуумна установка безперервної дії
Вакуумна установка безперервної дії призначена для нанесення тонких одно-і багатошарових плівок з алюмінію і його сплавів на кремнієві пластини діаметром 76, 100 і 125мм магнетронним розпиленням. Встановлення складається з двох шлюзових і однієї робочої камер, системи транспортних пристроїв для переміщення напівпровідникових пластин між касетами, трьох магнетронних розпилювальних пристроїв (магратронов) і мікропроцесорної системи управління з дисплеєм. <В
Малюнок 2.3 - Вакуумна установка безперервної дії для нанесення одношарових і багатошарових тонких плівок магнетронним розпиленням
,16-шлюзові камери, 2-касета, 3-пассіка подачі пластин, 4-затвор, 5-датчик подачі пластин на конвеєр, 6-робоча камера, 7,15-конвеєр і його привід, 8-пристрій іонного очищення пластин, 11,13-датчик тиску і вібраційний натекатель аргону, 12-магратрони, 14-стіл охолодження пластин, 17-щілинні канали
Шлюзові камери, призначені для завантаження і вивантаження касет з напівпровідниковими пластинами, відкачуються агрегатом АВР-50 з азотною пасткою протягом певного часу. При цьому в них для очищення напускається аргон. Робота камер так взаємопов'язана, що при розгерметизації шлюзовий камери тиск аргону в робочій майже не змінюється. Робоча камера має три зони: попередньої іонної очищення пластин, нагріву їх кварцовою лампою і нанесення плівок. Зони повідомляються через щілинні канали, але в них підтримується різний тиск. Вакуумна система робочої камери являє собою агрегат, що з паромасляного дифузійного насоса Н-5К, азотної пастки і механічного насоса ВНМ-18Г. p align="justify"> До системи транспортних пристроїв відносяться конвейєр та гумові пассіка, що подають напівпровідникові пластини з касет на конвеєр і з конвеєра в касети. При роботі установки по мірі розвантажування і завантаження касети з напівпровідниковими пластинами переміщуються конвеєром вертикально. Конвеєр виконаний у вигляді двох замкнутих дротяних ланцюжків, що приводяться в рух одним приводом. На ланцюжках є штирі, що фіксують положення напівпровідникових пластин при обробці. При зміні свого становища штирі впливають на датчик, який подає сигнал на чергову завантаження пластин на конвейер. p align="justify"> На верхній знімній кришці робочої камери розміщені планетарні магнетрони з підйомними магнітами, датчик тиску і натекатель аргону. У кожному водоохолоджуваному катоді магнетрона закріплена мета, що має значну масу, що сприяє її тривалій роботі без ...
