игнальні лампи, запобіжники), які з'єднані проводами із низьковольтними і високовольтними джерелами живлення, призначеними для нагріву испаряемого речовини, запалювання тліючого розряду і очищення підкладок.
Залежно від призначення установки вакуумного напилення оснащують електронно-променевими випарниками і пристроями для програм управління (температурою нагріву випарника і підкладок, швидкістю випаровування, тиском в робочій камері, опором загрожених плівок).
У періодично діючих вакуумних напилювальні установках найбільший час витрачається непродуктивно - на відкачування робочого об'єму до необхідного розрідження. Одним із способів скорочення часу відкачки є зменшення тривалості дотику подколпачного пристрої і внутрішніх поверхонь ковпака (робочої камери) з атмосферним повітрям. Якщо в робочий об'єм напустити осушене повітря і підняти ковпак не більше ніж на 5 хвилин, час відкачки до необхідного тиску зменшиться вдвічі порівняно з тим, коли під ковпак напускають атмосферне повітря. Іншим способом зниження непродуктивних витрат часу є використання вакуумних напилювальні установок і ліній відповідно полунепреривного і безперервної дії. Це створює також однакові умови для нанесення плівок високої якості. br/>
.2 Трикамерна вакуумна установка нанесення тонких плівок з напівбезперервним циклом роботи
Трикамерна вакуумна установка нанесення тонких плівок з напівбезперервним циклом роботи має робочу камеру, а також вхідну і вихідну камери - шлюзи, відокремлені один від одного вакуумними затворами.
В
Малюнок 2.2 - Схема трикамерної вакуумної установки нанесення тонких плівок з напівбезперервним циклом роботи
плівка магнетрон іонний розпорошення
1-вакуумні затвори, 2-вентилі напуску повітря, 3,8-вхідна і вихідна камери-шлюзи, 4-касета, 5-робоча камера, 6-випарник, 7-заслінка, 9-вентилі
При роботі установки касети з підкладками подаються у вхідні камеру, закриваються всі затвори і виробляється відкачка камер механічними насосами. При певному тиску затвор між вхідний і робочою камерою відкривається і касета з підкладками переміщається в робочу камеру, після чого у вхідні камеру напускається повітря, а в робочій створюється високий вакуум, відкривається заслінка під постійно нагрітим випарником і виробляється напилення плівок. Після напилення затвор відкривається і касета переміщається у вихідну камеру. Потім затвор зачиняється і в вихідну камеру напускається повітря. p align="justify"> Далі робочий цикл триває таким чином. Коли касета з напиленими пластинами переміщається у вихідну камеру, інша касета подається в робочу. Підвищення продуктивності праці при роботі на такій установці відбувається внаслідок часткового суміщення підготовчих операцій, пов'язаних з відкачуванням і завантаженням-розвантаженням касет. p align="justify...
