заміни. Магнетрони отримують живлення від індивідуальних джерел з негативним зворотним зв'язком по струму розряду і пристроєм ефективного гасіння дугових розрядів високої швидкодії. p align="justify"> Управляє роботою установки мікропроцесор на базі ЕОМ, який дозволяє задавати дев'ять перепрограмованих технологічних режимів, стабілізує і контролює їх, виконує необхідні блокування, вважає оброблювані напівпровідникові пластини і видає інформацію про стан технологічних параметрів, а також пристроїв і механізмів установки на дисплей.
3. Аналіз методів нанесення тонких плівок
Процес нанесення тонких плівок вимагає ізольованого від атмосфери обсягу, в якому створюється необхідний розрядження. Процес нанесення плівок складається з: освіти атомарного або молекулярного потоку речовини з джерела випаровування або розпилення, перенесення цього потоку від джерела до підкладки, конденсації атомів або молекул на підкладці і утворення плівки. p align="justify"> Важливу роль відіграє вибір методів контролю параметрів техпроцесу і системи управління. Забезпечення високої продуктивності досягається вибором оптимального варіанта структури і компонування, способу агрегатування обладнання, створенням високонадійній конструкції. p align="justify"> Існують два вакуумних методу нанесення тонких плівок, що розрізняються за способом генерації потоку частинок: метод термічного випаровування і метод розпилення матеріалів іонним бомбардуванням.
Суть методу термічного випаровування (малюнок 3.1, а) складається в нагріванні матеріалу в спеціальному випарнику 2 до температури, при якій починається помітний процес випаровування і подальша конденсація парів матеріалу у вигляді тонкої плівки на поверхні підкладок 5, розташованих на подложкодержателе 4 на деякій відстані від випарника 2. Для управління початком і закінченням процесу осадження служить заслінка, яка може перекривати потік випаруваних частинок 3. p align="justify"> Для забезпечення необхідної якості плівок в робочій камері 1 необхідно підтримувати певний розрядження і склад залишкових газів. На малюнку 3.1, а показаний приклад безмасляної вакуумної системи, в якій для забезпечення робочого тиску застосований магніторозрядними насос NM, з'єднаний з робочою камерою через вакуумний затвор VP. br/>В
Малюнок 3.1-Методи вакуумного нанесення тонких плівок.
форвакуумного відкачка робочого об'єму здійснюється механічним насосом NL. Щоб пари масла з механічного насоса проникали в робочу камеру, її первісну відкачку ведуть через клапани VA1 і VA2 до тиску приблизно 100 Па, а подальшу форвакуумного відкачку до тиску запуску високовакуумного насоса - через клапани VA1, VA3 і сорбційну пастку BS. Після запуску магніторозрядними насоса механічний насос вимикається. Напуск повітря в сучасних форвакуумних насосах здійснюється автоматично через вбудований в нього натекате...
