інають сублімуваті при температурах нижчих 700 К, а температура випаровуваності металів значний вища, то для Отримання плівок Використовують дві віпарніка. Концентрація фулеренів в плівках візначається швидкости Надходження компонентів (атомів и молекул), Які регулюються температурою віпарніків и їх Розташування відносно підкладкі. Температура віпарніків вібіраються по Експериментальна залежних швідкості випаровуваності від температури.
Рис 2.1. Структура сконденсованіх плівок Олово-фулером [5]
Необхідна концентрація фулеренів в плівці забезпечується підтріманням співвідношення швидкости випаровуваності фулеренів та металів. Щільність потоку молекул фулерена та атомів металу візначається помощью експериментально побудованіх Моногр температурної залежності швидкости випаровуваності металла и фулеренів.
Рис 2.2. Робочий простір ВУП - 5М з встановленного двома віпарнікамі [8]
Керування атомно-молекулярному потоками здійснюють:
- Зміною щільності потоку компонентів при незмінному частковий складу (тобто зміною щільностіпоступання атомів та молекул на підкладку), что забезпечується зміною відстаней віпарніків до підкладкі.
- Зміною ЕНЕРГІЇ атомів та молекул в момент їх Зіткнення з підкладкою, что забезпечується зміною температури віпарніків. Оскількі віпарніків два, то існує можлівість керування енергією атомів металла и молекул фулеренів роздільно.
- поперечні ЕЛЕКТРИЧНА полем прікладенім в между віпарнікамі та підкладкою что дозволяє сепаруваті атоми металу по зарядам.
- Продовжнім ЕЛЕКТРИЧНА полем, что Забезпечує прискореного або сповільнення іонізованіх атомів металу.
маючих Різні швідкості направленого руху до підкладкі в суміщеному потоці атоми металла и молекули фулеренів могут зіштовхуватіся та утворюваті конгломерати до потрапляння на підкладку. У гомогенного атомному потоці Утворення конгломератів малоймовірно. Тому Ранее НЕ пріділялося уваги до впліву на атоміі та молекули в реакторному пространстве на шляху до підкладкі. Зміна умів впліву на атомно-молекулярні потоки виробляти до структурного зміну плівок.
При потраплянні на підкладку атоми металу, молекули фулерена та їх комплекси впродовж якогось відрізка годині могут мігруваті по поверхні, втрачаючі при цьом надлишково теплову Енергію, та переходять в адсорбованій стан. Знаходячісь в адсорбованому стані, смороду володіють достаточно великою діфузійною рухомістю на поверхні підкладкі. На початковій Стадії конденсації на поверхні підкладкі утворюються острівці. Поверхнево концентрація острівців и ШВИДКІСТЬ їх зростанню візначається діфузійною рухомістю атомів металу, молекул фулеренів та їх компонентів, а такоже годині життя ціх частінок в адсорбованому стані.
У результате більшої масі та більш вісокої температури випаровуваності, чім температура сублімації фулеренів, атоми металів мают на підкладці більш Високі КОЕФІЦІЄНТИ дифузії. Суттева Різниця в масах частінок та енергіях адсорбційногї взаємодії ціх частінок з підкладкою прізводять до розходження в їх діфузійній рухомості, что в кінцевому результате виробляти до поверхневої конденсації центрів конденсації на початковій Стадії осадженим плівкі, гетерофазність метал-фулеренових плівок та степінь упорядкування утворюючіхся фаз.
Зменшення Розмірів структурних елементів зі збільшенням концентрації фулерена пояснюється малою рухомістю молекул фулеренів, та зменшеності їмі рухомості атомів металу у процессе конденсації.
2.2 Метод електрохімічного осадженим
Для Отримання товстая металевих плівок з невеликим (менше 1%) вмістом фулеренів может використовуват метод електрохімічного осадженим, при якому порошок фуллерита або розчин фулеренів змішується з електролітом. Для Підвищення однорідності електроліту вікорістовується ультразвуковий вібратор. Технологічними параметрами є склад електроліту, щільність и режим СТРУМУ, Потужність, длительность імпульсів и частота супутних лазерного випромінювання.
Електрохімічне осадженим є одним з найбільш Гнучкий та Економічно ефективних технологічних процесів у ціклі создания металевих шарів на провідній електричний струм поверхні. Велика перевага електрохімічного осадженим перед напиленням Полягає в набагато більшій швідкості процесса, яка легко регулюється зміною Струму. Проводитися УЗ диспергування електроліту з Розчин З 60. Як будь електрохімічній процес, катодні осадженим підкоряється основним принципам електрохімічної кінетікі, засновання на законах Фарадея и Фіка, а такоже Теорії послідовніх и паралельних реакцій. Суть процесса осадженим Полягає у відновленні на поверхні катода катіонів металів та м...
