ми повинна враховувати перехідний контактний опір пари «резистор - провідник» і допуск на суміщення шарів:
(3.12)
де: lRK - допустиме значення перекриття залежно від питомого поверхневого опору матеріалу ;?- Допуск на несуміщення шарів, для фотолітографії l? =0,1 мм.
При опорі квадрата резистивної плівки, Ом /? 50-200 (для хрому) lRK=0,5 - 0,4 мм.
При опорі квадрата резистивної плівки, Ом /? більше 500 (для КЕРМЕТ) lRK=0,2 - 0,1 мм.
.1.1 Розрахунок коефіцієнта форми низькоомних резисторів
Низькоомні резистори R1, R3, R6.
Вихідні дані для розрахунку геометричних розмірів низькоомних резисторів наведено в табл. 3.1.
За формулою (3.1) визначимо похибка форми. Для цього визначимо всі елементи цієї формули:
=0,2 - граничне відхилення від номінального значення резистора;
=0,02 - похибка відтворення питомого поверхневого опору резистивної плівки;
- температурна похибка;
=0,0002
=0,0002 * 100=0,02
=0,01 - похибка обумовлена ??старінням плівки;
=0,01 - похибка перехідних опорів контактів.
0,2 - 0,01 - 0,013 - 0,02 - 0,02=0,137
Визначимо основний параметр плівкових резисторів за формулою (3.3) КФ:
. 1.2 Розрахунок коефіцієнта форми високоомних резисторів
ВИСОКООМНИХ резистори R2, R4, R5, R7.
Вихідні дані для розрахунку геометричних розмірів для високоомних резисторів наведені в таблиці 3.2.
Похибка форми
=0,2 - граничне відхилення від номінального значення резистора;
=0,02 - похибка відтворення питомого поверхневого опору резистивної плівки;
- температурна похибка;
=0,0002
=0,0001 * 100=0,02
=0,002 - похибка обумовлена ??старінням плівки;
=0,02 - похибка перехідних опорів контактів.
0,2 - 0,01 - 0 - 0,003 - 0,02=0,14
Визначимо КФ:
3.1.3 Розрахунок геометричних розмірів резисторів з Кф lt; 1
Зі співвідношення (3.8) вибираємо максимальне значення довжини резистора
де: lтехн=0,2 мм; точн визначаємо за формулою (3.9)
ММР визначаємо за формулою (3.10)
мм
, 2 lрR1=0,42 мм
На підставі розрахунків і кроку коорд. сітки вибираємо довжину резісторарасчR5=0,4 мм;
На підставі розрахунків і кроку коорд. сітки вибираємо ширину резісторов.расчR5=0,8 мм;
.1.4 Розрахунок геометричних розмірів резисторів з КФ gt; 1
Зі співвідношення (3.4) виберемо максимальний розмір ширини резистора.
де: bтехн=0,2 мм; точн визначимо за формулою (3.5):
мм
мм
мм
мм
мм
мм
b р визначимо за формулою (3.6)
мм 1,2 * bрR1=0,4 мм
мм; 1,2 * bрR3=0,4 мм
мм 1,2 * bрR6=0,027 мм
мм 1,2 * bpR2=0,25 мм
мм 1,2 * bpR4=0,39 мм
мм 1,2 * bpR7=0,25 мм
На підставі розрахунків і кроку коорд. сітки вибираємо ширину резістороврасR1=0,4 мм; расчR2=0,2 мм; расчR3=0,4 мм;
bрасч R4=0,3 мм
bрасч R6=0,2 мм
bрасч R7=0,2 мм
Розрахункове значення довжини резистора lрасч визначається за формулою (3.11):
lрасчR1=0,4 · 1,8=0,7 мм
lрасчR2=0,2 · 2,15=0,45 мм
lрасчR3=0,4 · 1,8=0,7 мм
lрасчR4=0,3 · 3,75=1,1 мм
lрасчR6=0,2 · 3,9=0,8 мм
lрасчR7=0,2 · 2,15=0,45 мм
Величина перекриття резисторів R2, R4, R5, R7:
мм
де :? =0,1 мм. Для КЕРМЕТ lRK=0,2 мм.
Величина перекриття резисторів R1, R3, R6:
мм.
де :? =0,3 мм. Для хрому lRK=0,3 мм.
Параметри для розрахунку геометричних розмірів плівкових резисторів показані в таблиці 3.4.
Результати розрахунку геометричних розмірів плівкових резисторів зведені в таблиці 3.5.
Таблиця 3.4 - Параметри для розрахунку геометричних розмірів плівкових резисторів
ГруппаТКС,? RT, 1/градРд, Вт/см2? l,? b, ммl? , Ммlтехн, ммbтехн, мм? КФ? R ?? S? RT? RCТ? RK? T, C? Крок коорд. сітки, ммХром0,0001950,010,10,20,20,1370,20,050,0350,020,031850,05Кермет020,1400,005
Таблиця 3.5 - Результати розрахунку геометричних розмірів плівкових резисторів
Група? s, Ом/vПоз. об.Номінал, ОмРзад., мВтКфbточн, мм1,2bp, ммbрасч, мм1,2lp, ммlрасч, ммlпер, ммlR, ммSR, мм2? SR, мм2Хром100R118021,80,1130,40,4-0,70,61,90,281,3R318021,80,1130,40,4-0,71,90,28R639023,90,0910,1320,2-0,820,16Кермет2000R2430022,150,1040,1240,2-0,450,31,050,09R4750053,750,090,3090,3-1,11,750,33R5100050,5-- 0,20,390,5-0,025R7430022,150,1240,1240,2-0,451,050,135
3.2 Констр...
