сті поверхні і обсягу монокристалів кремнію. Відомо, що в найбільш досконалих бездислокаційних монокристалах кремнію містяться власні та домішкові В«МікродефектиВ» (МД) з розмірами від нано - до мікрометрів. Вони впливають на електронні, оптичні та механічні властивості кремнієвих приладів. Виявлення таких дефектів та вивчення їх властивостей є одним з важливих завдань при вдосконаленні технології вирощування кристалів і виготовлення перспективних кремнієвих приладів [1, 2].
Серед сучасних методів виявлення тонкої структури кристалів, таких як оптичні, електронні, рентгенівські варіанти мікроскопії, спектроскопії і томографії, аналізований тут металографічний метод вирізняється високою чутливістю, широкою поширеністю і уявною простотою реалізації [3, 4]. Сутність цього методу полягає у формуванні дефектно-контрастного рельєфу поверхні кристала в результаті розчинення в спеціальних селективних (дефектно-контрастних) травителях з наступним мікроскопічним аналізом особливостей рельєфу травлення поверхні. Дефектно-контрастний рельєф являє собою сукупність слідів у вигляді горбків і ямок від мікродефектів, що були у стравленнимі шарі або на його зовнішній поверхні. Деталі процесу дефектно-контрастного розчинення вивчені недостатньо і не знаходять адекватного пояснення в сучасних теоріях розчинення кристалів. У Зокрема, немає повного розуміння природи В«ефекту пам'ятіВ» травлення - збереження оптичного контрасту індивідуального сліду МІКРОДЕФЕКТИ при великій товщині стравленнимі шару, а також В«ефекту збільшенняВ» - збільшення розміру сліду (до десятків мікрон) від дефекту малого розміру (одиниці і десятки нанометрів). Ці особливості процесу розчинення визначають чутливість і вибірковість розглянутого методу в цілому. Основні об'єкти дослідження - Окремі сліди МД і дефектовиявляющіе розчини. Визначалася залежність форми і геометричних параметрів МД (висота, діаметр) від складу травителя (Тип і концентрація окислювача), від часу травлення (товщина стравленнимі шару), а також від передбачуваного сорти дефекту-ініціатора. Вивчалися бездислокаційних монокристали кремнію типу БКДБ, вирощені методом Чохральського в різних умовах, з різною концентрацією легуючої домішки, піддані різного термообробці після вирощування. Одна з особливостей експерименту - реалізація поетапного розчинення і вивчення зразків. Деталі дефектно-контрастного рельєфу вивчали за допомогою Мікроінтерферометр МИИ-4 і металографічного мікроскопа ММР-2Р, дооснащення системою цифрової реєстрації зображень. Умови експерименту і попередні результати дослідження містяться в роботі [5].
Експериментальні дані показали суттєві відмінності дефектовиявляющіх властивостей вивчених травителей: від повної відсутності таких властивостей до прояву відомих і нових їх особливостей при зміні окислювача і відносної концентрації компонентів розчину. Зокрема, встановлено, що при розчиненні досліджуваних поверхонь в деяких травителях системи HF - CrO 3 - H <...
