ість пучка електронів використовується пучок іонів. Переваги літографії за допомогою пучка іонів над літографією за допомогою пучка електронів полягають в тому, що фоторезист більш чутливий до пучків іонів, ніж електронів і відсутній "ефект близькості" ("proximity effect"), який обмежує мінімально можливий розмір області при літографії за допомогою пучка електронів.
