ального вирівнювання вимірювальна головка забезпечена регульованими по висоті гвинтовими опорами (див. поз. 6. 7 на Рис. 5). Дві передні опори з контргайками забезпечують установку вимірювальної головки по висоті над зразком. Моторизована опора з кроковим двигуном (див. поз. 8 на Рис. 5) використовується для підведення зонда до зразка. Сканирующая вимірювальна головка забезпечена стопками (див. поз. 7 на Рис. 5), на які вона встановлюється в перевернутому положенні, наприклад для заміни зонда. br/>
.5.2 Автоматизована платформа-позиціонер
Загальним вид автоматизованої платформи-позіционера представлений на Рис 6. Основними функціональними елементами платформи є:
позиціонер:
термостатірусмий тримач зразка:
кріопансль:
магнітопроводи.
Позиціонер зразка (див. поз. 2 на Рис. 6 а) забезпечує автоматизоване переміщення зразка в площині ХУ в діапазоні 4x4 мм. Посадочні гнізда (см.поз. 1 на Рис. 6 а) служать для установки вимірювальної головки. br/>В
Малюнок 6 - Платформа-позиціонер. а) 1 - посадочні гнізда. 2 - позиціонер зразка, 3 - прорізи для креппеніямагнітопроводов
В
Малюнок 7 - Платформа-позиціонер. б) 4 - кріопанель. 5 - тримач зразка, отвори для приєднання хладопроводов. 7 - магнітопроводи
Термостатіруємий тримач зразка (див. поз.5 на Рис. 6) є частиною системи термостатування. У ньому розташовані нагрівальний і охолоджуючий елементи, а також встановлений терморезистор. p align="justify"> Кріопанель 4 за допомогою гібкогохладопровода з'єднується з ємністю, заповненої рідким азотом, встановленої на один з бічних фланців камери. Для охолодження кріопанелі використовується рідкий азот. p align="justify"> У платформі розташований електромагніт до якого кріпляться магнітопроводи (див. поз. 3, 7 на Рис. 6). Магнітопроводи служать для створення в області зразка магнітного поля, величиною до 1 кГаусс.направленного в площині зразка. Зазор між полюсними наконечниками магнітопроводів становить 12 мм. При необхідності (наприклад, при дослідженні зразків великих розмірів без докладання магнітного поля) магнітопроводи легко знімаються. br/>
.6 Система управління
Система управління Solver HV включає:
СЗМ контролер:
Комп'ютер з інтерфейсної платою;
Контролер позіционера;
Контролер електромагніта:
Термоконтролер.
Управління контролерами здійснюється через комп'ютер за допомогою програми керування.
Контролери системи управління поставляються в двох варіантах:
розташованими в спеціальній стійці - шафі електроніки (див. Рис. 8);
