ональні системи Solver HV
Основними функціональними системами Solver HV є:
вакуумна система;
Віброізолююча система;
вимірювальна система;
система управління;
система термостатнрованія зразка.
.4.1 Вакуумна система
Вакуумна система містить:
вакуумну камеру;
форвакуумний насос; турбомолекулярний насос (ТМІ) з контролером;
вакуумметри з блоком живлення;
вакуумну арматуру (клапани, трубопровід, ущільнення і т.д.).
Відкачування повітря з камери проводиться за допомогою двох насосів: форвакуумний насос здійснює попередню відкачку повітря, турбомолекулярний забезпечує отримання високого вакууму і підтримку рівня вакууму під час роботи зондового мікроскопа.
Конструктивні особливості і технічні характеристики насосів наведені в технічній документації на ці пристрої.
.4.2 Віброізолююча система
Одним нз основних факторів, що визначають просторове дозвіл будь-якого зондового мікроскопа, є якісна віброізоляція. У Solver HV використана комбінація активної і пасивної віброізоляції. p align="justify"> Камера встановлена ​​на столі активної віброізоляції. Стіл складається з системи активної віброзахисту і пасивної віброзахисту знаходиться всередині стільниці. p align="justify"> Всередині вакуумної камери є пристрій пасивної віброізоляції у вигляді підвісу на пружинах з магнітним заспокоювачем (Мал. 4). Резонансна частота пружинного підвісу складає величину близько 1 Гц. br/>В
Рисунок 4 - Пасивна віброізоляція 1 - пружинний підвіс, 2 - арретир. 3 - магнітний заспокоювач. 4 - опорне кільце
2.5 СЗМ вимірювальна система
До складу СЗМ вимірювальної системи входять: - скануюча вимірювальна головка; - платформа-позиціонер.
.5.1 Сканирующая вимірювальна головка
Загальний вигляд скануючої вимірювальної головки представлений на Рис. 5. br/>В
Малюнок 5 - Основні елементи скануючої вимірювальної головки 1 - підстава: 2 - наконечник сканера: 3 - тримач зонда; 4 - гвинти позиціонування лазера: 5 - гвинти позиціонування фотодіода; 6 - гвинтові опори: 7-стійки : 8 - моторизована опора з кроковим двигуном; 9 - мікровінт
нанострутктурірованний поверхню дослідження
Для наведення лазерного променя на кантилевер за допомогою гвинтів позиціонування лазера (див. поз. 4 на Рис. 5) підбирають таке його положення, при якому лазерний промінь буде потрапляти на кінчик кантилевера.
Для установки і горизонт...
