ng-dlp- (Дата звернення 28.05.2014).
5. Варадан В., Виною К., Джозе Л. ВЧ МЕМС та їх застосування. М. Техносфера, 2004, 528 с.
6. ЕЛЕКТРОНІКА: Наука, Технологія, Бізнес 5/2010, 99 с.
. Інформація з сайту для абітурієнтів ТУСУР [Електронний ресурс].- Режим доступу - # justify gt ;. Ануфрієв Л., Ковальчук Н., Ланін В. Удосконалення технології мембранних МЕМС [Електронний ресурс].- Режим доступу - # justify gt;- (Дата звернення 03.06.2014).
