у з RFID, що містить інформацію про код мітки і тиску. Не слід забувати, що RFID сама по собі може також бути датчиком температури, оскільки затримка імпульсів RFID залежить від температури.
Безумовно, революцією в техніці ПАР стало б створення біосенсорів для експрес діагностик і таких небезпечних захворювань, як ВІЛ, рак, пташиний і свинячий грип, а так само інших не менш небезпечних захворювань. На це є вагомі передумови. Вже зараз розроблена технологія нанесення на плівку золота молекул ДНК, здатних абсорбувати з крові або лімфи ДНК небезпечних вірусів. Таким чином, діагностика захворювання перетворюється на вимірювання маси плівки. Ця проблема легко може бути вирішена за допомогу ПАР, вимірюючи різниця частот резонатора до і після тесту. Цей приклад показує, як пристрої на ПАР з характерними розмірами і близько одного мікрона разом з нанооб'єктів створять нову якість.
До цієї проблеми тісно примикає завдання детектування різних газів і хімічних речовин (штучний ніс). Метод побудови цих сенсорів також може бути заснований на мікро-зважуванні, як і біосенсор.
Якщо говорити про створення «інтелектуальних» пристроїв на ПАР з новими можливостями, не можна не згадати і про микросборках, в яких пристрій на ПАР - фільтр, мітка або сенсор, є частиною приладу здійснює обробку сигналів. вже стала використовувати такі микросборки в мобільних телефонах. Ці микросборки містять тільки підсилювачі, фільтри на ПАР та змішувачі. Помітна тенденція до ускладнення таких мікроскладань. Завдання побудови бездротових високотемпературних датчиків також є актуальною проблемою для багатьох практичних застосувань, а саме в таких областях, як:
. Напівпровідникова промисловість;
. Атомна промисловість;
. В автоматизованих системах управління і контролю двигунів кораблів і літаків і так далі.
На наш погляд, найкращим вирішенням завдання побудови бездротових високотемпературних датчиків є використання ПАР. На жаль, вибір пьезо матеріалів, серійно випускаються промисловістю, досить обмежений. Це - кварц, ніобат і танталат літію, і, нещодавно відкрите сімейство кристалів, що включає в себе лангасіт (LGS) і ланганат (LGT). З цього списку в першу чергу ми зобов'язані виключити кварц і танталат літію, тому що температура фазового переходу кварцу (573 ° С), приякої? - Кварцпревращаетсяв? - Кварц, і температура Кюрі танталата літію (665 ° С) низькі, і ці матеріали не можуть бути використані для побудови високотемпературних датчиків. Температура Кюрі ниобата літію (1165 ° С) велика і, на перший погляд, цей кристал може бути використаний для високотемпературних вимірювань. Однак, для використання ниобата літію є одне істотне обмеження - це значна власна провідність при температурах понад 600 ° С. Ця провідність призводить до Закорочування електричних полів в пьезоэлектрическомзвукоповодеикдеградациихарактеристикустройства. Єдиною можливістю, мабуть, є використання кристалів лангасіта і лангатата, які мають високу температуру плавлення і хороші пьезосвойства до 1000 ° С.
Дуже важливим є технологічні дослідження, спрямовані на підвищення технологічного рівня з усіх аспектів, починаючи від підготовки матеріалів для росту кристалів формоутворення пластин і кристалічних елементів, прецизійного напилення і фотолітографії і кінчаючи - корпусування ПАР елементів. Російські фахівці знають про існування CSP і LTCC (багатошаровий корпус з низькотемпературної кераміки містить фазосдвигающие ланцюжка індуктивності для узгодження пристроїв), на жаль, тільки зі статей опублікованихна заході. «Плановане» технологічне відставання може призвести і до відставання в теорії створенні фізичних моделей, оскільки останні не можуть бути перевірені на практиці.
Тому, для успішного розвитку технології ПАХ необхідно вирішити наступні завдання: підготовка матеріалів для росту кристалів;
зростання кристалів;
формоутворення пластин і кристалічних елементів;
прецизійне напилення з точністю до декількох атомарних шарів;
прецизійна фотолітографія з точністю до декількох nm і з мінімальним розміром менше 100 nm;
рішення задач виробництва пристроїв на ПАР і корпусування в CSP і LTCC;
розробка елементної бази для зчитування й обробки сигналів з пристроїв акустоелектроніки;
розробка сучасних теорій і створення нових фізичних моделей.
4. Методи розрахунку фільтра на ПАР [4]
. Синтез перетворювачів і фільтрів ПАР методом прямої згортки з ваговою функцією
2. Методика інженерного розрахунку конструкцій фільтрів ПАР з прямокутним АЧХ методом прямої згортки
...
