незначних дисперсійних спотвореннях і для надійності приєднання золотих провідників, наприклад, методом зварювання зі здвоєним електродом товщину плівки контактних шин слід вибирати в межах 250 ... 300 нм. Товщина електродів ВШП може бути зменшена до 100 ... 200 нм. Для поліпшення адгезії алюмінію доцільно використовувати подслой ванадію товщиною 30 нм, що дозволяє обійтися одним травителем і проводити тільки одноетапну фотолитографию.
Для осадження плівок з алюмінію, міді, золота, срібла найбільш часто використовується термовакуумних напилення. Застосування електроннопроменевого випаровування з тигля цих матеріалів, наприклад алюмінію, дозволяє істотно поліпшити адгезію до поверхні звукопровода і відмовитися від адгезійного підшару. Катодне і магнетронного розпилення зазвичай використовується для отримання плівок тугоплавких металів і діелектриків. Хімічне осадження застосовується, головним чином, для металізації великогабаритних звукопроводу довжиною понад 100 ... 180 мм.
При термовакуумних напиленні, наприклад, алюмінії янаніобат літію або кварц, очищені Звукопроводи спочатку прогріваються при температурі 250 ± 10 ° Свтеченіе 10 ± 1 хв для видалення мономолекулярних забруднень, а так само для зняття механічних напруг і вирівнювання потенційного рельєфу поверхні. Дл ябольшінства п'єзокерамікою неприпустимий перегрів вище 100 ... 430 ° С.
Після цього Звукопроводи охолоджуються до температури 130 ± 10 ° С з метою отримання малого питомого опору пилять шарів ванадію і алюмінію і виробляється розпорошення зазначених матеріалів.
Акустичні фільтри (Ф) на поверхневих акустичних хвилях (ПАР) служать для виділення або придушення сигналу в заданій смузі частот внаслідок багаторазової інтерференції ПАР від великого числа відбивачів мають різні розміри, геометрію і відносне взаємне розташування.
4. Принцип дії ФПАВ
Принцип дії ФПАВ заснований на генеруванні та розповсюдженні і прийомі ПАР в звукопроводе (рисунок 4.1) з перетворювачами і відбивачами, розміри і геометрія яких підібрані так, щоб досягалася необхідна частотна характеристика фільтра.
Малюнок 4.1 - Акустичні фільтри на ПАР
Позначення: а , b - смугові; c - загороджувальному.
Для збудження і прийому ПАР зазвичай використовуються зустрічно-штирові перетворювачі, які являють собою періодичну структуру металевих електродів, нанесених на п'єзоелектричний кристал (малюнок 4.1). В якості звукопроводу застосовують п'єзоелектричні монокристали кварцу, ниобата літію, германата вісмуту та ін. Фільтри на ПАР відрізняються простотою пристрою, технологічністю, відтворюваністю характеристик, можливістю масового виробництва. Двовимірний характер ПАР дозволяє створювати Ф з досить складними частотними характеристиками. Типові внутрішні втрати в межах смуги пропускання для фільтрів на ПАР - дБ і частки дБ, фазові помилки - кілька градусів, а придушення сигналу поза смуги і паразитного сигналу становить близько 60 дБ.
5. Перспективи розвитку техніки поверхневих акустичних хвиль
Перспективами розвитку техніки поверхневих акустичних хвиль (ПАР), є [1]:
підвищення робочих частот до 3-10 ГГц,
зниження внесених втрат,
зменшення розмірів,
поліпшення температурної стабільності,
збільшення вхідної потужності,
створення «інтелектуальних» пристроїв на ПАР з новими можливостями.
Як і раніше смугові фільтри на ПАР становитимуть основу техніки ПАВ. Однак це будуть, в основному, фільтри з балансні входом і небалансная виходом, що здійснюють трансформацію імпедансів. Смугові фільтри на ПАР будуть компонентами дуплексор і мультіплексеров.
У 2008 році Fujitsu оголосила про створення фільтра на ПАР з розміром 0.6x0.8mm. Цей розмір може бути зменшений для фільтрів на ПАР в діапазоні робочих частот до 3-10 ГГц. Використання хвиль витоку дозволяє обійтися без корпусування, захистивши робочу поверхню алмазоподобной плівкою. Ця ідея описана для RFID на 2.45 ГГц.
Найближчим часом в мобільних телефонах будуть використовуватися режекторние фільтри на ПАР для цифрового ТБ. Специфікації таких фільтрів розроблені, як у нас, так і за кордоном (Kyocera).
Потенційно обсяг випуску RFID значно перевищить в найближчі роки обсяг випуску фільтрів на ПАР.
Об'єднання RFID з різними датчиками призведе до створення «інтелектуальних» пристроїв на ПАР з можливістю вимірювання тиску, наприклад, і радіопередачі сигнал...
