лектронів. Це сильно спрощене опис принципу роботи аналізатора. Насправді рух електронів відбувається за досить складних траєкторіях, а реєструються електрони що з фіксованою енергією (навіть при U = const), а в деякому інтервалі енергій, який визначається конструкцією аналізатора, якістю його виготовлення та іншими факторами. Цей інтервал визначає енергетичне дозвіл аналізатора, тобто мінімальна відстань між двома близько лежачими піками в спектрі, які ще можуть бути помітні.
На точність вимірювань енергій впливають зовнішні магнітні поля (в тому числі і магнітне поле Землі). Це пов'язано з тим, що легені електрони сильно відхиляються навіть у слабких магнітних полях. Для захисту від них використовується спеціальний магнітний екран 6 (див. рис. 5).
Кількісна оже-спектроскопія
Основним завданням кількісної ОЕС є визначення концентрацій атомів, що входять до складу багатокомпонентних зразків. Зрозуміло, що інтенсивність оже-сигналів (струм електронів, що з'являються в результаті оже-процесу АВС в атомах будь-якого сорту) і концентрація атомів взаємопов'язані. Для того щоб встановити цей зв'язок, коротко розглянемо основні фактори, що впливають на величину цього струму.
Перетин іонізації
Першим і необхідним етапом будь-якого оже-процесу є іонізація внутрішнього рівня первинним електроном. В якості характеристики ефективності іонізації використовують величину перетину іонізації s, яка залежить як від глибини залягання рівня, так і від енергії первинного електрона. Перетин іонізації є не що інше, як ймовірність іонізації в розрахунку на один атом. Залежність s від енергії має досить складний характер, і універсальної формули для його визначення не існує. Найчастіше користуються напівемпіричні формулами, які добре узгоджуються з експериментальними даними. Згідно з цими виразами існує енергетичний поріг, що співпадає з енергією зв'язку електрона Е (А) на рівні А. При енергії первинного електрона, рівний (3-4) Е (А), характерний максимум, після якого спостерігається повільний спад. З такого спрощеного опису вже можна зробити висновок про те, що максимальна кількість оже-електронів, а отже, і максимальна чутливість методу реалізується у випадку, коли.
Ймовірність оже-процесу
Наступний етап - сам оже-процес, що характеризується ймовірністю , Від якої також залежить кількість утворюються оже-електронів. Згадаймо, що конкуруючим процесом після іонізації рівня є випромінювання фотона (флуоресценція). Виявляється, що набагато простіше визначити вихід флуоресценції, ніж величину. Тому для опису ймовірності оже-процесу користуються величиною. Треба зауважити, що для більшості оже-переходів близький до нуля. h2> Глибина виходу оже-електронів
Кількість оже-електронів залежить також від того, з якої глибини вони виходять. Утворився на якійсь глибині оже-електрон при русі до поверхні може випробувати непружне зіткнення і втратити частину своєї енергії...
