онів по енергій. До аналізатора такого типу відносяться, наприклад, 127-градусний циліндричний аналізатор Юза - Рожанська (рис. 4, б), плоске (рис. 4, в), циліндричне (рис. 4, г) і сферичне (рис. 4, д) дзеркала. Вони забезпечують чутливість на два порядки вище в порівнянні з багатосітковим аналізатором з гальмуючим полем, проте останній дозволяє поєднувати методи оже-спектроскопії з дифракцією повільних електронів, що дає можливість поряд з елементарним складом приповерхневих шарів монокристалічних зразків отримувати відомості про їх кристалічній структурі. Зазвичай реєстрації не енергитическим розподіл числа N емітованих електронів по енергіях E, а похідну (Е - енергія електронів), що дозволяє не тільки більш чітко виділити лінії оже-спектра (Підвищити чутливість методу), але й більш детально аналізувати їх структуру.
Методами ЕОС і РОС здійснюють аналіз для всіх елементів переодической системи, за винятком Н і Чи не. Метод ІОС володіє селективністю: певні іони здатні порушувати емісію оже-електронів лише в атомах певних елементів, що обумовлено механізмом обмінної генерації вакансій у внутрішніх електронних оболонках атомів іонним пучком. Тому застосування методу ИОС доцільно, коли необхідно реєструвати наявність на поверхні того чи іншого елемент, а не проводити повний аналіз елементного складу поверхні.
Отримання енергетичного спектру
Для виявлення оже-електронів необхідно вміти виділяти електрони, що знаходяться в дуже вузькому інтервалі енергій. У оже-спектроскопії найчастіше використовують електростатичні аналізатори, і в Зокрема аналізатори типу "циліндричне дзеркало". На рис. 5 наведено схематичне зображення такого аналізатора, що дозволяє зрозуміти принцип його дії.
Одночасно з цим показаний зразок 1, бомбардований прискореними електронами, який в даному випадку є джерелом вторинних електронів, у тому числі і оже-електронів.
Рис. 5. Схематичне зображення енергоаналізатора типу "циліндричне дзеркало": 1 - Зразок, 2 - внутрішній циліндр, 3 - зовнішній циліндр, 4 - Вікна для входу і виходу електронів, 5 - колектор, 6 - магнітний екран.
Основними елементами аналізатора служать два металевих коаксіальних циліндра 2 і 3 з радіусами r1 і r2. Внутрішній циліндр зазвичай заземлюють, а на зовнішній подається негативний (щодо землі) потенціал, який може бути змінений в досить широких межах. Таким чином, між циліндрами формується анализирующее полі. Вторинні електрони через спеціальні вхідні вікна у внутрішньому циліндрі потрапляють у це поле і при своєму русі відхиляються до осі циліндра. При деякому значенні потенціалу U на зовнішньому циліндрі тільки електрони з енергією Е проходять у вихідні вікна у внутрішньому циліндрі і потрапляють на колектор. Зміна потенціалу U призведе до того, що на колекторі будуть збиратися електрони з іншим значенням енергії. Якщо здійснити повільну розгортку напруги між циліндрами, то буде записаний безперервний спектр вторинних е...
