ify"> У хімічному відношенні тантал при Звичайний умів малоактивний (подібний з ніобієм). На повітрі чистий ВІН стійкій, окіслятіся почінає при температурі 280 В° C. Має позбав один стабільний окис - Ta2O5, что існує у двох модіфікаціях: ? - ФОРМІ, яка має білий колір утворюється нижчих 1320 В° C и ? - ФОРМІ сірого кольору, утворюється Вище 1320 В° C. З ВОДНИХ при температурі близьким 250 В° C тантал утворює твердий розчин, что містіть до 20 атомних% водних при 20 В° C, при цьом метал становится кріхкім. При 800-1200 В° C у Високому вакуумі Воден віділяється з металу и его пластічність відновлюється.
З азотом при температурі близьким 300 В° C утворює твердий розчин и нітріді Ta2N и TaN, в умів високого вакууму, при темпертурі Вище 2200 В° C погліненій азот такоже віділяється з металу. У Системі Та/С при температурі до 2800 В° C встановленого Існування трьох фаз: твердого Розчин Вуглець в танталі, нижчих карбіду Т2С і ВИЩОГО карбіду TaC. p align="justify"> Тантал реагує з галогенами при температурі Вище 250 В° C (Із фтором при кімнатній температурі), утворюючі галогеніді Переважно типом TaX5 (де Х = F, Cl, Вr, I). При нагріванні Та взаємодіє Із С, В, Si, Р, Se, Ті, водою, CO, CO2, NO, HCI, H2S. p align="justify"> Чистий тантал вінятково стійкій до Дії багатьох рідкісніх металів: Na, До та їхніх сталева, Li, Pb и ін., а такоже сталева U - Mg и Pu - Mg. ВІН характерізується Надзвичайно скроню корозійною стійкістю до Дії більшості неорганічніх и органічніх кислот: азотної, соляної, сірчаної, хлорної ї ін., Царської Горілки, а такоже багатьох других Агресивне середовище. Діють на метал фтор, фтористий Воден, плавиковою кислотою и ее суміш Із азотної кислоти, розчини й розплаві лугів. Відомі СОЛІ танталові кислот - танталат Загальної формули xMe2 O Г— уTa2O5О5 Г— < span align = "justify"> Н2О: метатанталаті MeTaO3, ортотанталаті Me3TaO4, СОЛІ типом Me5TaO5, де Me - лужний метал; у прісутності перекису Водного утворяться такоже пертанталаті. Найбільш Важливі танталат Лужний металів - KTaO3 и NaTaO3, ці СОЛІ - сегнетоелектрікі.
.2 фазові склад та фазові Перетворення в тонких плівках Ta
на фазовий склад конденсованіх плівок поряд з розмірнім ефектом Суттєво вплівають домішки, Джерелом якіх, крім Залишкова газів та підкладкі, может буті Випарування материал. При цьом в залежності від умів конденсації плівкі могут буті збагачені тією або іншою домішкою. p align="justify"> Робота [6] Присвячую дослідженню впліву Залишкова газів, складу конденсованого молекулярного пучка та матеріалу підкладкі на фазовий склад тонких плівок ОЦК-Ta. У осаджуваніх методом термічного випарування тонких плівках Ta проводівся контроль складу молекулярного пучка ...
