и потрапляють на титановий анод НЕ найкоротшим шляхом, а по спіральних траєкторіях між стрижнем анода і циліндром, внаслідок чого шлях іонізації значно подовжується. Іонізовані частинки з великими швидкостями вдаряють в шар напиляного титану на циліндрі С, де вони хімічно зв'язуються, або ж впроваджуються в глиб матеріалу і покриваються знову напилюваним шарами титану. p align="justify"> Електрони ж після проходження довгого шляху, що збільшує вірогідність зіткнень з молекулами, бомбардують титановий анод і нагрівають і розпилюють титан. Швидкість відкачування азоту насосом з діаметром входу ~ 100 мм і висотою ~ 500 мм при тиску 10 -7 Тор складає ~ 400 л * с -1 .
Рис. 6. Електростатичний іонно-сублімаційний насос. (К-катод; А (Т1)-титанова дріт; С-колектор з напиленим шаром титану; Е 'і Е''-екрани). br/>
Насос працює починаючи від тиску ~ 10-3 Тор. Анодний струм насоса не перевищує 40 мА (при напрузі 5 кВ), витрата охолоджуючої води становить - 0,5 л В· ін-1. p align="justify"> Схема і конструкція сучасного електростатичного іонно-сублимационного насоса представлена ​​на рис. 7. Цей насос складається з чотирьох елементів, між якими знаходиться підігріває титановий субліматор. Весь цей комплект поміщений в охолоджуваному водою корпусі, стінки якого покриті зсередини обложеним з пари титаном і являють собою Сорбує поверхню. p align="justify"> Комплект чотирьох сублімаційних елементів з боку входу насоса захищений відбивачем з трьома поверхнями, екрануючим простір високого вакууму від теплового випромінювання (~ 1 кВт), а також оберігає від напилення титану.
Рис. 7 чотирьохсекційний електростатичний іонно-сублімаційний насос. (А-анодні стрижні; Т1-титановий субліматор; К-катоди; S-сітка; С-корпус.) br/>
Сублімаційні елементи складаються з циліндричних сіток, стрижневих анодів А і катодів К (один резервний). Корпус насоса, який є колектором С, заземлений і має негативний потенціал - 370 В відносно сіток; аноди мають позитивний потенціал +4000 У відносно сіток (тобто +4370 У відносно землі); катоди з'єднані з сітками. Електрони виходять з катода до анода зі швидкостями, близькими до нуля Катоди (невеликої довжини) поміщені на точно розрахованій відстані від анодів. Субліматор з берилієвої кераміки ВеО має форму циліндричного стрижня, що містить 6 підігрівачів, поміщених у відповідних порожнинах, керамічний стрижень покритий молібденової фольгою, на яку нанесений шар титану. Потужність підігрівача становить 750 Вт (15 А 50 В). Випаровування титану відбувається безперервно незалежно від іонізаційного розряду, тому в приладі не спостерігається явища так званої аргонної нестабільності. При діаметрі входу ...
