в насос 150 мм швидкість відкачування N2 складає ~ 1700 л В· с -1 , Аr-близько 25 л В· с -1 .
Одним з достоїнств електростатичних іонно-сублімаційних насосів є мале опір потоку газу від входу до Сорбує поверхнях у протилежність магнітним електророзрядними насосів, де зважаючи на необхідність створення вузьких щілин в магнітному полі - потік газу, що проходить через ці щілини, відчуває великий опір течією. br/>
Іонні насоси з холодним катодом
У іонних насосах з холодним катодом під дією високої напруги в розрідженому газі між двома електродами з'являється електричний тліючий розряд. При цьому відбувається іонізація газу, в результаті чого утворюються іони і електрони Розряд у газі підтримується завдяки тому, що іони, вдаряючись об поверхню катода, викликають емісію з нього електронів Емісія електронів призводить до подальшої іонізації, газу яка в свою чергу сприяє емісії електронів. Такий процес називається тліючим розрядом. Тліючий розряд легше виникає в присутності магнітного поля. p align="justify"> проходить через насос електричний струм утворений головним чином електронами (які мають значно більшу рухливість, ніж іони) і приблизно пропорційний тиску газу 1. p align="justify"> При виникненні тліючого розряду катод піддається розпорошення, а розпорошений метал, осідаючи на стінках насоса,, електродах і т. п., діє як чиста сорбуються поверхню (рис. 8). Розпилення металу в присутності електричного поля (тобто в умовах іонізації) забезпечує гарний відкачування газів, головним чином активних і певною мірою неактивних, причому неактивні гази віддаляються в результаті їх впровадження в поверхню і замуровування напилюваним металом. br/>
Рис. 8 електророзрядними діодний насос з холодними електродами. (А-циліндричний анод; К1 і К2-два елементи титанового катода; В-індукція магнітного поля). br/>
Кількість розпорошується металу приблизно пропорційно току (і, отже, тиску газу); це означає, що розпорошення металу саморегулюється залежно від стану вакууму. Величина розрядного струму є в деякій мірі мірою тиску у откачиваемой системі. p align="justify"> Ефект відкачування значно поліпшується, якщо розряд відбувається в магнітному полі (магнітні електророзрядні насоси). Це відбувається тому, що значно подовжується шлях електронів від катода до анода і збільшується внаслідок цього кількість зіткнень електронів з молекулами, а отже, і число іонів, утворених одним електроном. Зважаючи на це в насосах з тліючим розрядом застосовується магнітне поле відповідної величини (декілька сотих Тесли) і напряму (перпендикулярно площині електродів). p align="justify"> Розрізняють два види тліючого розряду. При низькому тиску (р <10-4 Тор) розряд є типово тліючим у вигляді стовпа, а ...
